冷凝吸收理论及先进产业高沸点VOCs溶剂回收处理技术说明.PDF

工廠揮發性有機物再利用新技術及實務 GER GER 冷凝”吸收”理論及先進產業高沸點VOCs溶劑 回收技術說明 講師：吉能科技董事長 高金磊 Green Energy and Resource Technique Co., Ltd. 2011.08.26 前言 □ 高科技產業隨著個人電腦(PC)、筆記型電腦(NB)、數位相 機、液晶面板、智慧型行動電話及平版電腦等的蓬勃發展， GER GER 帶動整個相關產業的成長。隨著世界產業綠色環保的發展趨 勢潮流，新建的半導體 12”晶圓廠持續增加、 TFT-LCD大尺 寸面板廠(第七、八世代廠以及第十世代廠(玻璃基板尺寸為 2,880 x 3,130)陸續投產，LED廠不斷擴建, 太陽能電池廠垂 直與水平整合從未停歇, 證明世界經濟正在轉型與改變中。 □ 產業製程化學品的使用量隨著產能的擴大而增加，揮發性有 機廢氣(Volatile Organic Compounds ，VOCs)系統的處理 風量及濃度亦逐漸昇高，衍生許多不同於以往的問題，值得 進一步的討論，以便提出完整的解決方案。 1 產業常見的高沸點VOCs 隨著國內半導體及光電產業的持續發展，同時帶動了國內電子 GER 用化學品產業的商機。但是，由於電子用化學品在潔淨度、 GER 功能等要求較高，以致於除了部分製程化學品外，多數仰賴國 外進口。常見的高沸點VOCs成份說明如下： □ 高沸點的VOCs(去光阻劑/ 光阻剝離劑, 樹脂、銀鋁漿及電池 正負極材料之溶劑等) □ ACT-690C, ACT-935, EKC- 162, EKC-265, EKC-800, EKC-830, EKC-922, N-300, RNS-409, TOK-106, PV159, PV145及PV502等, □ 主要的VOCs成份有BDG, DMAc, DMF, DMSO, MEA, NMP, Terpineol and Texanol等。 傳統冷凝器理論設計原理 揮發性有機物(Volatile Organic Compounds ，VOC) ，一 GER GER 般是指在標準狀態下(20℃，760mmHg), 蒸氣壓大於 0.1mmHg以上的有機物質。 冷凝溫度的設計 (1) Pvoc (outlet) = 760 x (moles VOC in outlet stream/ moles inlet stream －moles VOC removed) Pvoc = Partial pressure of the VOC in the exit stream (mmHg) 2 傳統冷凝器理論設計原理(續) 冷凝溫度的設計(續) GER Moles VOC in outlet stream GER = (Moles VOC in inlet stream) (1 －η) Moles VOC in inlet stream = (Moles in inlet str