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物以矽為貴‐以親疏水性 自矽泥回收矽 研究者: 王品懿、李哲慧 指導者: 藍崇文教授、張永佶老師 摘要 粒子的親疏水性質隨 pH 值而改變,親水性的粒子易溶水而排斥油,疏水的粒子易 溶油而排斥水。本實驗運用粒子親疏水的特性從矽泥中回收矽,其中矽泥是矽晶圓切割 的添加物與矽的碎粉混合產生的廢棄物。儘管矽是地表含量第二多的元素,由於太陽能 產業對矽純度的要求,使得矽晶片價格居高不下而占生產成本的一席之地,因此回收矽 具有其經濟效益。 研究發現當矽與碳化矽分佈在不同的液相中,就可以分離兩相而得到矽。在前置實 驗中,混合矽粉和碳化矽粉,加入去離子水與親水性的聚烷基二醇醚(Polyalkylene Glycol ethers )模擬並觀察矽泥中矽與碳化矽的行為。此階段研究調整水相pH 值、油水比與固 體含量,以找出適合分離的最佳條件。接著使用矽泥進行分離矽的測試,結果發現實際 矽泥樣本瓶在分相時,竟形成水相-油相-水相的三層形態,萬物化境令人驚訝。 最終實驗取出水相離心並烘乾,得到富含矽的粉末。這些粉末測量得知,實驗最佳 純度,回收率。未來,這些粉末還須經過高溫處理才能回歸光電產業的生產鏈。本實驗 已得到從矽泥回收矽的初步成果,對光電產業廢棄矽的回收,提供了一個環保概念的新 方向。 壹 、研究動機 把保麗龍球和自動筆筆芯浮在水面上時,兩者與水面接觸的形狀會因親疏水性而不 同。更有趣的是,當我試著把兩者撥近時,它們在接觸前就會因為其與水接觸形狀之不 同,而自己互相彈開,即親疏水性會影響浮體的聚集。 我將這個概念延伸做矽的回收。高純度的矽價格高昂,是台灣半導體、太陽能產業 共同的重要材料。在太陽能晶片的製程中,有許多高純度的矽因切割時的摩擦而損失, 成為廢棄物矽泥的成分。若能從矽泥中掏出這些昂貴的矽再次投回生產線,將能達到經 濟與環保兩種效益。目前已有前人以相分離法自矽泥中回收矽,但其所使用的油相成分 含有有毒的溴烷,故我想以一個安全的油相成分來改良這方面的相分離法。 218 貳 、研究 目的 一、以微型實驗探討當 PAG 為油相時,可能影響矽泥相分離的變因。 二、用來自工廠的矽泥檢驗微型實驗所得最佳分離條件的成效 参 、研究方法 一、 實驗規劃設計說明 相圖 pH值 固含量 震盪時機… 密度圖 親疏水性 實驗流程(二) 矽泥實驗 「翻轉」與 「三層結構」 二 、實驗原理 (一) 矽泥的成分 矽泥是矽晶圓切割產生的廢棄物,其中含有矽、碳化矽與 PAG 油,另外 219 還有微量金屬。矽是矽晶圓切割製程因摩擦而損失的資源,也是我的回收目標; 碳化矽粉末是切割時加入摩擦的物質,若要從矽泥中分離出矽,就要先能分離 矽與碳化矽這兩種矽泥中的固體成份。矽較親水,而碳化矽較親油,可以藉著 將矽吸引至水相而將碳化矽吸引至油相的相分離法進行分離。 而本研究之創 見在於,前所未見地使用了無毒且原本就是矽泥成分的 PAG 作為相分離法的 油相。PAG 黏性大、透明無色,是工業常用的切割油之一,正式名稱為聚烷 基二醇醚,因為油水分離的概念較容易為人所接受,故稱 PAG 相為油相。PAG 醚基上的孤電子對可與水形成氫鍵,因此在常溫下與水互溶,必須將樣本加熱 超過其「分相溫度」才會相分離。「分相溫度」又會隨著油、水相密度而有所
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