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基于单片机真空镀膜机检漏仪设计合肥工业大学机械设计及其自动化毕业论文
毕业设计
2013 年 6 月 7 日 目 录
中文摘要 1
英文摘要 2
1 引 言 3
1.1 课题研究的背景与现状 3
1.2 真空检漏技术与设备的发展现状 3
1.3 课题研究的目的和意义 4
1.4 论文的主要工作和内容 4
1.4.1 主要工作 4
1.4.2 论文的安排结构 5
2 系统总体设计 5
2.1 电离真空计概述 5
2.2 热阴极电离真空计的工作原理 6
2.3 电离真空计检漏方法 7
2.4 系统总体框图 9
3 硬件电路和模块选择 10
3.1 数据采集模块电路 10
3.1.1 离子流放大电路 10
3.1.2 ADC0808硬件 11
3.1.3 转换器部分电路 11
3.2单片机89C51模块 11
3.3数据显示模块 13
3.3.1 显示模块的芯片选择 13
3.3.2 LCD1602介绍 14
3.4 检漏报警电路 15
3.5 系统总体电路原理图 15
4 软件系统设计 17
4.1 Keil软件介绍 17
4.2 单片机C语言介绍 17
4.3 程序流程图 18
4.4 计算真空室内的压力值 18
5 仿真与调试 20
5.1 protues软件介绍 20
5.2 proteus和Keil调试仿真 20
5.2.1 调试的步骤及方法 20
5.2.2 程序仿真 21
5.2.3 总电路仿真 21
结论 23
致谢 24
参考文献 25
附录 26
附录A 电路原理图 26
附录B 程序代码 27
基于单片机真空镀膜机检漏仪设计
摘 要:随着现在生产技术的高速发展，对于真空镀膜检漏方法及检漏的准确度提出了越来越高的要求。基于单片机的真空计检漏法作为真空检漏的一种方法，因其性价高、操作方便等较多的优点得到越来越多的重视和应用。本文出于方便、经济、实用等方面考虑，对基于单片机真空镀膜机检漏仪进行设计研究。本论文采用电离真空规来测量真空镀膜室内压力，选用热阴极电离真空计为真空室内真空测量元件。转换部分主要由ADC0808控制，它主要的工作就是把电离规离子流信号进行转换，是从模拟量转换为相应的单片机需要的数字量再传送到数据处理模块。数据处理主要是通过AT89C51进行处理，它主要的工作是把ADC0808传过来的数字量进行处理，产生相应的真空度送到显示模块进行显示。处理器判断真空室内的压力是否符合真空镀膜机的要求真空度，通过蜂鸣器和LED显示灯，进行报警，提示给使用者。
关键字:电离真空计；AT89C51单片机；A/D转换；ADC0808；LM016L
Abstract:With the modern production techniques developing,methods for leakage detecting and the accuracy of it has higher requierment.The vacuum leakage detecting based on single chip is one of the vacuum leakage detecting methods,because of the advantage of it’s high cost-performance ratio ,stable performance,no pollution, convenient operation and so on ,it gets more attention and application.For the condidetation of convenience, economy, practical these aspects, this paper is about the design and research of vacuum coating machine leak detector that based on single chip .In this paper it use vacuum ionization gauge to test the pressure in the vacuum chamber,choose the hot-filament ionization gauge to be the testing element.A/D transfer mainly rely on ADC0808 completed,it response to translate the collected analog quantity to the corresponding digital quantity and transform to the data handling model. data
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