单层溶胶凝胶化学膜的损伤机理研究.pdfVIP

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2018-01-11 发布于广东
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单层溶胶凝胶化学膜的损伤机理研究.pdf

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第33卷增刊中国激光 V01．33，Suppl． 2006年3月 CHINESE OF JOURNALLASERS March，2006 文章编号：0258—7025(2006)Supplement-0330—04 单层溶胶一凝胶化学膜的损伤机理黄祖鑫1，蒋晓东2，任寰2，吕海兵2，张磊2，何钱军2，彭勇1，胡晓阳1 (中国工程物理研究院1应用电子学研究所，2激光聚变研究中心，四川绵阳6219001 摘要从单层ZrOz薄膜和单层SiOz薄膜的两种主要损伤形貌出发，分析产生这两种损伤形貌的原因，说明了这两种膜料的单层溶胶一凝胶化学膜损伤机理，即单层ZrO。薄膜的损伤主要由热冲击造成，而单层SiOz薄膜的损伤主要由热吸收造成。还提出了提高这两种膜料的溶胶一凝胶化学膜激光损伤阈值的方法。关键词薄膜；溶胶一凝胶}损伤机理；损伤形貌；热冲击#热吸收中图分类号0484 文献标识码A MechanismLaser Induced forSol-Gel Damage Single Layers 0pticalCoatings HUANG Zu—xinl，JIANG Huan2，LU Xiao—don92，RENHai．bin92， ZHANG Lei2，HEQian—jull2，PENG Yon91，HUXiao—yan91 Institute Electronics，2ResearchCenterLaserFusion，China ofApplied of of ，1 AcademyEngineeringPhysics，、、 621900，C允ina ， Mianyang，Sichuan Abstract tothe of of and thin was AccordingdamageappearancessinglelayerZrOz SiOz films，the analyzed．The causing damage mechanismsoftwokindsofmaterialson thinfilmscanbemadeoutthatheat leadstothe of sol-gel shocking damageZrOzthinfilmand heat is the causeof thinfilms．Themethodwastakenoutto the thresholdof absorptionmostlydamage SiOz improve two damage kindSofmateriaIs． wordsthinfilms