有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
西门子法三氯氢硅氢还原Si-CVD本征动力学模型-中国有色金属学报
第 26 卷第 11 期 中国有色金属学报 2016 年 11 月 Volume 26 Number 11 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Nov. 2016 文章编号：1004-0609(2017)-01-0215-10 西门子法三氯氢硅氢还原 Si-CVD 本征动力学模型 吴 永，王 伟，刘晓瑞 (银川能源学院，银川 750105) 摘 要：联系生产实际对西门子法三氯氢硅氢还原反应体系的反应做了归类分析，选用可靠适用的热力学基础数 据，设计合理计算方案，计算分析 16 个反应在反应温度区及附近温度区的吉布斯自由能和标准平衡常数数值， 利用反应耦合理论提供了将 SiHCl (g)+H (g)=Si(s)+3HCl(g)作为主反应的热力学依据，确认该主反应与关键组分 3 2 SiHCl (g)的两个热分解生成有 Si(s)和 SiCl (g)的反应构成的平行反应为生成 Si-CVD 的主要反应。在此基础上， 3 4 应用 L−H 均匀表面吸附理论，借助非均相气−固相催化反应模型方法，导出该还原 Si-CVD 过程的本征速率方程 −r k c =+k c2 +k c4 ，进而线性化变换为等价的拟一级不可逆反应动力学模型−R k c ( 简写为 As sc1 A sc2 A sc3 A As sc,dj A,dj −RAs ksc cA ) ，便于动力学参数测定和后续建立宏观动力学模型。 关键词：反应工程；多晶硅；西门子法；三氯氢硅氢还原反应；化学气相沉积；热力学分析；本征动力学模型 中图分类号：TQ013.1 ；TQ013.2 ；O613.72 文献标志码：A 有关西门子法三氯氢硅(SiHCl3 ，即三氯甲硅烷) 2SiHCl (g)=Si(s)+SiCl (g)+2HCl(g) (1) 3 4 氢还原生成 Si 并化学气相沉积(CVD )在硅芯基体过 4SiHCl (g)=Si(s)+3SiCl (g)+2H (g) (2) 程(记作 Si-CVD)的研究，国内在热力学研究方面报道 3 4 2 不少，但动力学研究成果较少。 SiHCl (g)=SiCl (g)+HCl(g) (3) 3 2 20 世纪 80 年代，沈华生[1]在吸收国外研究成果的 2SiHCl (g)=SiH Cl (g)+SiCl (g) (4) 基础上，对西门子法制备多晶硅反应体系的有关反应 3 2 2 4 和 Si-Cl
文档评论（0）