子孔径拼接干涉的快速调整及测量-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棻棸灢棽椂椄棽灢棸椃 子孔径拼接干涉的快速调整及测量 灣 棳 棳 棳 郭福东 唐 锋 卢云君 王向朝 暋 棬 棳 棭 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室 上海 棽棸棻椄棸棸 椇 棳 暎 摘要 考虑高精度子孔径拼接干涉测量技术对自动化拼接的要求 提出了一种子孔径零条纹自动快速调节方法 分析了 棳 椇 棳 棷 棬 棭暎 干涉条纹数量对拼接误差的影响 分析显示 当子孔径干涉条纹数量少于 条时 干涉仪回程误差小于 值 椀 毸椀棸斝斨 棳 棳 对子孔径拼接测量装置进行了结构优化 提出了拼接位移台角位移偏差自动补偿方法 实现了各个子孔径的零条纹测 棳 暎 棳 椇 量 进而控制了子孔径拼接的累积误差 对棿椀棸旐旐暳椂棸旐旐长条镜进行了子孔径拼接干涉测量 结果表明 自动测量结 椈 棳 果与手动调整零条纹测量结果在面形分布上更为一致 但前者测量速度及测量效率都有所提高 测量时间平均减少 椀 暎 棳 暎 旐旈旑 提出的方法不仅能完成干涉拼接测量装置的自动定位及自动快速调整 还提高了测量重复性与检测效率 椇 椈 椈 椈 关 键 词 干涉测量 自动测量 子孔径拼接 拼接误差 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 椀棻棸棶棽椂椄棽 斚棿棾椂棶棻暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽 斠斸旈斾斸斾旛旙旚旐斿旑旚斸旑斾旐斿斸旙旛旘斿旐斿旑旚旀旓旘 旔 旉 旙旛斺斸斿旘旚旛旘斿旙旚旈旚斻旇旈旑 旈旑旚斿旘旀斿旘旓旐斿旚旘 旔 旂 旟 灣 斍斦斚斊旛灢斾旓旑 棳 棳 棳