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第七章! 特种阀门的试验 ·()- · ####################################### 第七章! 特种阀门的试验 第一节! 真空阀的试验 m o 一、真空阀的性能试验方法 c . 真空阀的性能试验主要是测量真空阀的漏气速率和通导能力。漏气速率测量方法 w 为关闭检漏法。在满足阀门性能要求的前提下可采用其他检漏方法（如氦质谱检漏法）。 以下介绍的试验方法（#$ %’’—())* ）适用于各种高、低真空阀性能试验。 x (! 关闭检漏法试验装置 f 试验用真空系统是由机械泵、扩散泵、真空阀、管道、辅助容器、盲板、试验罩、流量装 置、针阀、真空计和压力表等组成，见图(+ , - , (。 bz w. w w 图(+ , - , (! 关闭检漏法试验装置 (—前级泵! *—波纹管! .—电磁带充气阀 ’—前级管路! /—管道阀! —旁抽管路! -—扩散泵 0—阀门! )—旁抽阀! (+—辅助容器! ((—压力表 (*—盲板! (.—针形阀! (’—被试阀门 (/—真空计规管! (—盲板 ·!7-2 · 第十篇 阀门的检验和试验 ####################################### （! ）选用的扩散泵内径必须大于或等于被试阀门的公称通径，建议按表! # $ # ! 选 用。 （% ）机械泵的规格根据高真空油扩散泵确定。 表! # $ # ! 扩散泵的选用 被试阀门 选用的高真空油扩散泵的性能参数 的公称 进气口 抽气速率不低于 极限真空 通径! ’’ 内径! ’’ ! ( ·) # ! ! *+ ! ! , - $ . ! # / m !/ 0 , , , - $ . ! # / o 1 0 2 2 %/ c- $ . ! # / ! 0 !- !- ! .- $ . ! # / （, ）测量通导能力用的试验罩和流量装置按345 67%%—!72- 的规定确定，其试验罩 w 内径应与被试阀门内径相同。