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薄膜材料与技术 （10） 李美成 2006秋季学期 1 1 第10章薄膜的结构与缺陷 10.1 薄膜的结构 10.2 薄膜的缺陷 10.3 薄膜结构与组分的分析方法 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 2 2 薄膜的结构与缺陷在一定程度上 决定着薄膜的性能，因此对薄膜 结构与缺陷的研究一直是大家十 分关注的问题。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 3 3 10.1 薄膜的结构 薄膜结构因研究对象不同可分为三种类 型： （1）组织结构； （2 ）晶体结构（薄膜中微晶的类型）； （3 ）表面结构。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 4 4 1．薄膜的组织结构 薄膜的组织结构是指它的结晶形态。分为四种 类型：无定形结构、多晶结构、纤维结构和单 晶结构。 （1）无定形结构 从原子排列情况来看它是一种近程有序结构。 就是在2∼3 个原子距离内原子排列是有秩序 的，大于这个距离其排列是杂乱无规则的。 这种结构显示不出任何晶体的性质。这种结构 有时称为非晶结构或玻璃态结构（或无序结 构）。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 5 5 无定形结构中包含有两类结构，一类称无定形结 构，另一类称类无定形结构。 前一类也常称为无序结构。原子排列是近程有 序，远程无序，显示不出任何晶体的性质。也称 为玻璃态。例如，各种阳极氧化物薄膜。 后一类结构是由无规排列的极其微小的（ 2nm ）晶粒所组成。由于其晶粒极其微小，衍射 图象发生严重弥散而类似于无定形结构。 属于这类结构的有 ①高熔点金属薄膜 ②高熔点非金属化合物薄膜 ③碳，硅、锗的某些化合物薄膜 ④两不相容材料的共沉薄膜。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 6 6 无定形