《日立SU8020冷场发射电镜基础原理和应用介绍》精品培训讲稿上.ppt

* Upper EXB Lower Top SE BSE Sample ： Photocatalyst Vacc ： 3.0V Mag. ： x 50k courtesy of ： Nagaoka University of Technology, Faculty of Engineering, Dr. Kazunori Sato Model ： SU8020 Topographical + Compositional information Upper(LA-BSE) Electrode Control electrode Sample Upper 探头接受LA-BSE像 形貌衬度+原子序数衬度（比例可调） * Upper EXB Top Lower SE BSE Sample ： Photocatalyst Vacc ： 3.0V Mag. ： x 50k courtesy of ： Nagaoka University of Technology, Faculty of Engineering, Dr. Kazunori Sato Model ： SU8020 Compositional + Crystal information (Less topographical information) Top(HA-BSE) Electrode Variety of signal detection system Control electrode Sample NEW Top 探头接受HA-BSE像 Upper(LA-BSE) * 三个探头成像比较 Sample ： Au grain Vacc ： 3.0V Mag ： x 50k Model ： SU8000(conventional) Crystal contrast Topographic information Crystal contrast + Topographic information Surface information Upper(LA-BSE) Top Upper Lower Top(HA-BSE) Lower(SE) Upper(SE) 结晶衬度的观测 NEW * 加速电压：0.9KV 放大倍率 ：×50K（未喷镀） 信号模式：SE(U,LA100)背散射电子像 样品：玻璃基底TFT截面 超低加速电压下的背散射电子像 * 发射束流 時間 Flashing之后 15分 10% 稳定期间的Ie变化 Ion冲击 FE Tip FE Tip FE Tip 需要Flashing 稳定时间约为8hr 6.维护和保养 冷场电镜的稳定时期 * Flashing的作用就是Reflash灯丝表面 去除灯丝表面的吸附的气体分子 Flashing 冷场电镜灯丝Flashing ???????前 FE 气体分子 flashing前 灯丝 * 外部加热器 内部加热器 1st anode 2nd anode FE tip 日立独特的内置式烘烤系统 保证了电子枪的洁净 维护简易，用户可自行完成 内烘烤和外烘烤 * 2 日立SU8020的操作和应用 1. 样品制备的注意事项 2. 扫描电镜最基本的操作：调焦消像散，对中 3. 下列参数选择对图像的影响： 加速电压，工作距离，探头的选择 4. 荷电的产生原因及解决方法 5. 污染的产生原因及避免方法 6. 样品损伤 7. 减速模式 * 1. 样品制备 1、粉末样品必须粘牢在样品台上（使用导电胶带或液体导电胶，最后用洗耳球吹）； 2、磁性的（如Fe、Fe3O4）粉末或块状样品需要特别注意(WD10mm)； 3、样品边缘不能超过样品台； 4、观察截面可以使用特制的截面样品台； 5、潮湿样品和易挥发样品不能放入样品仓； 6、样品放入样品仓前注意调整和测量高度(不能超过)。 * Start 确认条件 HV on ABCC 看见图像 Focus 寻找视野 最短WD设定 Focus Focus Stigma X/Y Apt.Align. 拍摄图片 Home Specimen Size、Height Run Vacc、Ie Normal、High、WD Upper、SE x2000 2.扫描电镜最基本的操作 Beam Align 低倍（Low Mag.)寻找视野 高倍时看不清，寻找明显目标物，粗调 100kx以上观察时，Lock 高倍时，要2~3次循环 Stigma调整时，如果图像动的话，进行Stigma Align. X/Y对中 * 聚焦和消像散示意图 * 聚焦和消像散过程 * 电子束电对中 光阑电对