真空泵项目报告书工程分析.pdfVIP

3 3 33工程分析 3.1 主要产品介绍 3.1 主要产品介绍 33..11主主要要产产品品介介绍绍 本项目真空泵产品主要类型有：水环真空泵、干式真空泵，干式真空泵包括 罗茨真空泵，螺杆真空泵，爪式真空泵等。 1 1 11、水环真空泵 水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为 2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环真空泵也可用作压缩机， 5 称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×10 Pa表压力。 水环真空泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻 工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、 真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环真空 泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环真空泵在粗真空获得方 面一直被人们所重视。由于水环真空泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易 爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环真空泵应用日益增多。 水环真空泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点： • 结构简单，制造精度要求不高，容易加工。 • 结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小 的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。 • 压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。 • 由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转 动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。 • 吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。 水环泵也有其缺点： • 效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。 • 真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸 气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液， 可达130Pa。 2 2 22、干式真空泵 干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气 中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级 或者接近的机械真空泵。 目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体 充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发 展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个 急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下 影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反 应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之 类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型 式的干式真空泵，则可以达到理想的使用效果。 干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面： ·低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； ·半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微 粒； ·除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望 微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； ·在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防 止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； ·用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 3 3 33、螺杆真空泵 螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气 和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中， 螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳， 噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉 尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是 油封式真空泵的更新换代产品。 螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过 程 , 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特 别适宜于电子，化工和生物医药等领域。