振动轮式微机械陀螺动态特性的光学测试.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １６ ２ 　 Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００８ ２ Ｆｅｂ．２００８ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８０２０２９５０５ 　 振动轮式微机械陀螺动态特性的光学测试 ， １２ ２ 蒋 明 ，何小元 　 （ 苏州科技学院 土木学院，江苏 苏州 ； 东南大学 土木学院，江苏 南京 ） １． ２１５０１１２． ２１００９６ 摘要：建立了基于高速摄像技术、显微技术与数字图像处理技术的光学测试系统。配有光学显微镜的高速摄像设备 （ ／）记录并保存被测物瞬时序列图像，根据被测物的角振动特性设计相应的图像处理方法以获得振子各时 ３２０００ｆｒａｍｅｓ 刻的运动位移，并通过位移时间曲线分析振子的固有频率、阻尼系数及品质因子等动态特性参数。实验结果显示，频率 测量误差＜０．０１％。高精度地测量了振动轮式微机械陀螺的动态特性，为微结构动态特性的研究提供了一个有效方法。 关 键 词：高速摄像；图像处理；振动轮式微机械陀螺；固有频率；品质因子 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： Ｏ３１８ＴＢ８７２．１７ Ａ 　　 犗狋犻犮犪犾狋犲狊狋犻狀 狅犳犱狀犪犿犻犮犮犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狅犳 狆 犵 狔 狏犻犫狉犪狋犻狀 狑犺犲犲犾犿犻犮狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾 狉狅狊犮狅犲 犵 犵狔 狆 ， １２ ２ ， ＪＩＡＮＧＭｉｎ ＨＥＸｉａｏｕａｎ ｇ ｙ （ ， １．犆狅犾犾犲犲狅 犆犻狏犻犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅 狅 犵 犳 犵 犵 狔 犳 犵狔 犳 ， ， ； 犛狌狕犺狅狌 犛狌狕犺狅狌２１５０１１ 犆