硼扩散杂质分布研究.pdf

, 几 辽 宁大学习 报 八, 刃人 」 入 石 了 以 二 亡 、 逆 儿 〔立 自然 科 学 版 人 , 召 写 ’ 第 卷 第 期 年 、 硼扩散杂质分布研 究 王 荣 尚世 琦 杨学 昌 电 子科学 与工 程 系 摘 要 本文 介绍 了用 阳极 氧化 和 化 学 剥 层 技术 测 定硅 中硼 扩 散 杂质 分 布 的 方 法 给 出 了几 种 不 同扩散气氛 下硼 扩散 杂质 在硅 中分 布 的实验 曲线 并与 高斯 杂质 分 布 函数做 了 比较 发现高斯理 论 杂质 分 布与实 验结 果 有 很 大 偏 差 本 文对 产 生 这 种偏 差 的物 理 机 制 做 了较详 细 的讨 论 关键 词 硼 扩 散 杂质 分 布 阳极 氧化 引 言 众 所 周 知 , 在半 导体 硅 平 面工 艺 中,