极坐标数控铣齿机直线度和垂直度干涉测量.pdfVIP

机 械 设计 与制 造 第 10期 160 Machinery Design Manufacture 2010年 l0月 文章编号：1001—3997(2010)10—0160—02 极坐标数控铣齿机直线度和垂直度的干涉测量 姜孟鹏 黄筱调 王 华 洪荣晶 (南京工业大学 机械与动力工程学院，南京 210009) Intefferometryforrotarytable’SmovementprecisionoftheNCmachine-toolfr0m polar-coordinatemilling JIANGMeng—peng，HUANGXiao—diao，WANGHua，HONGRong-jing (CollegeofMechanicalandPowerEngineering，NanjingUniversityofTechnology，Nanjing210009，China) 一 … 十 一 ～ 十 十 H十 H十 十 “十 十 ¨十 十 一 ¨ 十 十 ”十 + 十 + + 十 “+ + ”十 一+ + + 。+ 十 + + ’+ + + 。+ ‘+ + + 。+ + 十 。+ + + 。十 。、 } 【摘 要】根据极坐标数控铣齿机床结构特点，采用Renishaw双频激光干涉仪测量直线导轨直线度，j {对干涉仪直线度测量原理和光束调试方法进行了详细探讨，通过分析垂直和水平导轨直线度数据，最终获 ； I得了两直线导轨的垂直度误差。 j j 关键词：直线度；激光；干涉测量；垂直度 j { A【bstract】AccordingtothestructuralcharacteristicsoftheNCmachine—toolfrompolar-coordinate÷ ÷milling,straightnessofthelinearguideismeasuredbyusingaRenishawlaserinte毋rometer．Theprincipleof； 3}-straightnessmeasureofRenishawlaserinterferometerandthemethodoflightpathadjustmentraeexploredj }detailedly．Theverticalityisobtainedbyanalyzingtheverticalandlevelugide’sstraightness． { Keywords：Straightness；Laser；Interferometry；Verticality ÷ 中图分类号：TH16。TB92，TN24 文献标识码 ：A 随着现代数控技术的发展，对各项几何参数的测量精度要 求越来越高。直线运动导轨是机床的重要部件，其直线度和垂直 度误差作为机床几何误差之一 ，会直接复映到工件上 1_【，影响成 品的质量。因此，如何准确获得导轨直线度和垂直度误差并最终 提高工件的加工精度，具有重要的现实意义。传统上使用水平仪 检测直线度误差，但水平仪精度低、受外界影响大，已无法满足 高精度、高稳定性的要求。在国际标准中激光干涉仪是唯一公认 的，目前最常用的数控机床精度检定仪器 ，它在功能、灵敏 度 、稳定性、精度方面极具优势[51。光束调节是直线度测量过程 图1机床部件相对运动示意图 中的关键，若调节效果不佳，导致光强较弱或存在测量误差，直 1．机床立柱，立柱沿床身导轨做前后运动，实现X向平移 接影响检测数据的精度。