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考虑非均匀掺杂衬底对一维MOST模型的修正考虑非均匀掺杂衬底对一维MOST模型的修正
2000 3 ( ) March 2000 24 1 Journal of Anhui Univer ity Natural Science Edition Vol. 24 No . 1 考虑非均匀掺杂衬底 对一维MOST 模型的修正 柯导明, 陈军宁, 代月花, 宣长林, 段运生 ( , 230039) : MOST DIBL , MOST MOST , , , SPICE MOS3 , , , , , : ; ; MOST ; MOST :TN402 : A : 1000- 2162( 2000) 01- 0026- 09 0 , VLSI , MOST, MOST VLSI MOST , [ 1, 2, 3] MOST , MOST, DIBL , , , , , MOST [ 2, 3] MOST , VLSI MOST MOST , , , , , 1 MOST NMOST , : 2 d q 2 = - N (x ) ( 1) dx si , q , iSi- SiO2 x , N( x) : 1999- 06- 05 : ( . : ( 1954- ) , , , , . 1 : MOST 27 [ 5, 6] , ( 1) 2 q 2 x dT (4) = x N - [ xN ( x )] | ( 2) s dT T 4 x = si 2880n , x , n [ 0, x ] , dT dT N MOST , T 1 n- 1 i + 1 i 1 2 i + 1 N T = 2 [ iN ( x dT ) + 4( i + ) N ( xdT ) + ( i + 1) N ( xdT )] 6n i= 0 n 2
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