任务三使用激光干涉仪检测数控机床直线滚动导轨的平行度.PPT

任务三 使用激光干涉仪检测数控机床直线滚动导轨的平行度一、水平平面内直线滚动导轨平行度的测量原理线性平行度是用来确定两个平行的坐标轴之间的偏差。应用激光干涉仪进行平行度测量的原理是用一个公用的直线度数据，得出两个平行轴的平行度数据。图4-56所示为测量轴1 水平方向的直线度布局；图4-57所示为测量轴2水平方向的直线度布局。注意在测量轴2水平方向的直线度时，一定要确保直线度反射镜固定不动，并不做任何调整，以此作为两次测量的基准。 图4-56 轴1在水平方向直线度测量布局俯视图 图4-57 轴2在水平方向直线度测量布局俯视图 二、应用激光干涉仪测量十字滑台线性导轨平行度1.光学元件的固定与安装（表4-15） 表4-15 光学元件的固定与安装步骤 序号 安装步骤 图示 1 直线度干涉镜到安装在固定块上 2 磁力表座安装在轴1导轨的滑块上 3 将直线度干涉镜安装到磁力表座上  表4-15 光学元件的固定与安装步骤 序号 安装步骤 图示 4 在十字滑台上安装固定直线度反射镜的磁力表座 5 安装直线度反射镜 6 轴1在水平方向直线度测量布局 2.光路的准直（1）准直直线度干涉镜，在轴1整个行程上移动滑块，使激光光束始终能打在光靶的中心。（2）直线度反射镜的调整，在轴1整个行程上移滑块动，使反射镜的返回光始终能通过直线度干涉镜回光孔，最终回到激光光闸回光孔。（3）用人工去除斜率误差的方法来进一步精密调准激光光束。（4）误差数值的正方向设定,如图4-58，测量时直线度干涉镜从靠近反射镜的一端向激光头一端移动，直线度误差值的正方向向右。当测量轴2的水平方向直线度时，误差数值的正方向设定应与轴1的正方向设定一致。 图4-58 误差数值的正方向设定 3.数据采集 根据直线滚动导轨的长度，决定测量长度为400 mm ，测量间隔为50 mm 。然后完成测量软件的定义按照软件设定的要求，并按规定的方向移动滑块，手动采集数据，直至所有点。点击完成。将数据文件另存为“轴1.stx ”4. 重复1到3的步骤，完成轴2的水平方向直线度的测量，注意使用相同的误差数值的正方向设定。数据文件为“轴2.stx ”5.数据分析，见表4-16 表4-16 十字滑台线性导轨平行度数据分析 序号 测量软件的使用方法 图示 1 打开“短距离直线度测量”软件，见图再点击“分析数据”，进入下一步的界面 2 点击“打开”，找到轴1水平方向直线度数据文件“轴1.stx” 3 点击“分析数据”，再点击“线性平行度” 4 点击 File2的“改变”，将文件“轴2.stx”添加进去 5 测量软件将自动给出两个轴的数据图表和平行度数据。两个直线度图形是由最小二乘法数据拟合所得到的。平行度数据的正负符号取决于打开两个文件的顺序 6 放大看两个平行轴的平行度数据