更换排气阀板.PDFVIP

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更换排气阀板

VS系列外观 VSN1501 VSN2401 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 1 油旋片泵的特点 内置油泵强制供油 设有油逆流防止阀 保证广压强下稳定 防止突然停电时油的逆 的抽气速率 流 采用非弹簧旋片 低噪音、低振动 杜绝因弹簧折断、 为用户创造良好的工 生锈等导致的故障 作环境 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 2 2 定期检查表 检查周期 检查对象 检查内容 油量能否达到规定标准 根 泵油 油的颜色是否正常,红褐色, 据 白色属异常 实 3天一次 声音 是否出现异常音 际 震动 是否发生不同于平时的震动 情 电流值 是否低于规定电流值 况 表面温度 表面温度是否正常 适 每周一次 漏油 油封与橡胶圈是否漏油 当 调 3千小时1 吸气口滤网 是否已有堵塞 整 次或者 泵油 即使无异常情况也需要检查 时 6个月一 油雾过滤器 是否结满油渣 间 次 联轴器橡胶块 是否出现破损或不全 Copyright ©2012,ULVAC,Inc.All rights reserved Page 3 检查日期 检查人员 (VSN2401 )检查记录表 No. 检查项目 检查方法 合格标准 No. 检查项目 检查方法 合格标准 1. 极限压力 用皮拉尼真空计直接读数 30Pa以下(关闭回油阀) 6. 环境温

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