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掺钼ZnO透明导电薄膜的太赫兹电磁波传输性质.PDF
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 64 !# #$$’ !# ， ， ， M)B -64 X) - !# .2H2?T2/ #$$’ （ ） !$$$#’$W#$$’W64 !# W45#$3 ;9J; SUR:K9; :KXK9; $#$$’ 9DA+ - SDYC - :)H - 掺钼!# 透明导电薄膜的太赫兹 电磁波传输性质! ） ） ） ） ! ! # # 吴臣国 沈 杰 李 栋 马国宏 !）（复旦大学材料科学系，上海 #$$% ） # ）（上海大学物理系，上海 #$$%%% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #$$’ % # #$$’ % #! 采用直流磁控反应溅射方法，通过调节氧分压在玻璃基底上制备了不同载流子浓度的掺 的 （ ）透明 () *+, *(, 导电薄膜- 应用太赫兹电磁波时域光谱技术研究了*(, 导电膜的太赫兹电磁波透射性质及介电响应，得到了与频 率相关的电导率、能量吸收和薄膜折射率，实验结果与经典./012 模型相符很好- *(, 导电膜的太赫兹电磁波脉冲 透射性质表明，通过调节*(, 薄膜的载流子浓度，该导电膜可作为应用于衬底和光学器件等太赫兹电磁波频率范 围的宽带抗反射涂层- 关键词：太赫兹电磁波光谱，薄膜电导率，宽带抗反射，透明导电薄膜 ： ， ， $% 34567 %#4$8 4!!69 到了广泛和深入的研究，目前已经在平板显示器和 薄膜太阳电池中得到了应用 近来， ： 薄膜也 !I 引 言 - *+, Q@ 开始受到重视，但关于高价态元素掺杂*+, 基透明 ［］ 3 透明导电氧化物（ ）薄膜由于具有高的可见 导电薄膜的报道还很少，仅有王三坡等 和 8A0 J9, ［］ 4 光透射率和低的电阻率，在平板显示、触摸显示屏、 等 分别利用金属靶直流反应磁控溅射方法和陶瓷
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