基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测-物理学报.PDFVIP

基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单载流子探测器的端对接设计 叶焓 韩勤 吕倩倩 潘盼 安俊明 王玉冰 刘荣瑞 侯丽丽 Butt-jointdesigninauni-travelingcarrierphotodiodearraymonolithicwithanarrayedwaveguidegrating bytheselectiveareagrowthtechnique YeHan HanQin LüQian-Qian PanPan AnJun-Ming WangYu-Bing Liu Rong-Rui Hou Li-Li 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,158502(2017) DOI: 10.7498/aps.66.158502 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.66.158502 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2017/V66/I15 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 室内可见光通信复合光学接收端设计与分析 Designandanalysisofcompositeopticalreceiverforindoor visible light communication 物理学报.2017,66(8): 084207 /10.7498/aps.66.084207 基于连续扫频光时域反射的全同弱光栅高速解调方法 High speed demodulation method of identical weak fiber Bragg gratings based on wavelength-sweep opticaltime-domainreflectometry 物理学报.2016,65(20): 204209 /10.7498/aps.65.204209 多光谱可见光通信信道串扰分析 Analysisofchannelcrosstalkinmuliti-spectrumvisiblelight communication system 物理学报.2016,65(9): 094208 /10.7498/aps.65.094208 光波导脉冲耦合器研究 Studyonpulsecouplerofopticalwaveguide 物理学报.2014,63(1): 014211 /10.7498/aps.63.014211 单载流子传输的双异质结光敏晶体管探测器的研究 Uni-traveling-carrierdoubleheterojunctionphototransistor photodetector 物理学报.2013,62(22): 228501 /10.7498/aps.62.228501 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 66, No. 15 (2017) 158502 基于选区外延技术的单片集成阵列波导光栅与单 载流子探测器的端对接设计 叶焓 韩勤 吕倩倩 潘盼 安俊明 王玉冰 刘荣瑞 侯丽丽 1) (中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083) 2)(中国科学院大学电子电气与通信工程学院, 北京 100049) 3)(中国科学院大学材料科学与光电技术学院, 北京 100049) ( 2017 年3 月30 日收到; 2017 年5 月7 日收到修改稿) 选区外延技术是实现有源与无源光器件单片集成的一种有效的工艺手段, 但同时对两种器件在异质生长 界面处的对接结构提出了更高的设计要求. 本文通过选区外延技术实现了InP 基O 波段4 通道阵列波导光栅 与单载流子探测器的单片集成. 通过光学仿真重点研究了选区外延后界面处形貌对无源波导