基于微蒸发腔制冷的大功率激光二极管制冷组件-发光学报.PDFVIP

第36卷摇 第10期 发摇 光摇 学摇 报 Vol郾36 No郾10 2015年10月 CHINESEJOURNAL OF LUMINESCENCE Oct. ,2015 文章编号:1000鄄7032(2015)10鄄1207鄄05 基于微蒸发腔制冷的大功率激光二极管制冷组件 1,2 1* 范嗣强 ,潘英俊 (1. 重庆大学 光电技术与系统教育部重点实验室,重庆摇 400044; 2. 重庆师范大学 重庆市级高校光学工程重点实验室,重庆摇 400047) 摘要:利用节流的高压冷却介质在微蒸发腔内相变吸热,设计了一种用于大功率激光二极管制冷的封装组件。 该组件采用高热导的无氧铜,用精密线切割、化学腐蚀等技术制作微蒸发腔,再通过自制的焊接设备完成制冷组 件的封装。 按照大功率激光二极管条的发热模型,理论上对微蒸发腔制冷组件的温度分布进行了数值模拟,结 果与60 W激光二极管条的散热实验符合较好,得到制冷剂流量为23 mL/ min时的热阻为0.289 益/ W。 关摇 键摇 词:微蒸发腔;大功率激光二极管;热沉 中图分类号:TN248.1摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 DOI:10.3788/ fgx1207 Micro鄄evaporation Cavity Cooling Module for High Power Laser Diode 1,2 1* FAN Si鄄qiang ,PAN Ying鄄jun (1. Key Laboratory of Optoelectronic Technology Systems,Ministry of Education,Chongqing University,Chongqing 400044,China; 2. Chongqing Key Laboratory of Optical Engineering,Chongqing Normal University,Chongqing 400047,China) *Corresponding Author,E鄄mail:pyj@ Abstract:Based on the theory of phase change decalescence of throttled cooling medium with high pressure in themicroevaporationcavity,anewpackmodulewasdesignedfortherefrigerationof high power laserdiode. Oxygen鄄freecopperwithhighheat鄄conductingwasadoptedinthemodule. Themi鄄 cro evaporative cooling module was constructed with the process of wire鄄electrode cutting,chemical corrosion,andweldingbythenewly designedweldingequipment. Accordingtothermal model of high power laser diode,numerical simulation is conducted theoretically on the module,and the result is consistent with the experiment of the heat dissipation of laser bar with the power