基于内窥光路的深腔盲孔形位检测及应用-激光与红外.PDFVIP

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 光电技术与系统 文章编号 基于内窥光路的深腔盲孔形位检测及应用 王红平 曹国华 向 阳 姜 涛 长春理工大学机电工程学院吉林 长春 摘要提出一种光机复合高精度非接触光电成像检测新方法实现有限深腔内盲孔的形位尺 寸检测 系统由精密传动机构 光学内窥系统 精密光栅传感检测系统 图像采集及处理系统 组成 系统通过高精度的传动机构配合 使内窥光学系统在有限的深腔内线性移动 并利用高 分辨率 摄像技术获取盲孔图像 通过图像处理完成深腔盲孔形位尺寸的测量 通过实例 测试表明系统精度高于 关键词 盲孔 内窥光路 光电成像 图像处理 中图分类号 文献标识码 引言 但操作繁琐且探针极易损坏已停止生产 此外 传统的小孔测量方法分为接触式和非接触式测 有报道 采用电容瞄准测孔传感器的测头对相邻 量两种 接触式测量方法有坐标测量机测量法 振 小孔的中心瞄准定位其主要强调两个微小孔间相 邻孔壁的测量 而盲孔测量误差较大 随着光学系 荡扫描测量法电接触法测孔尺寸线规法等测量方 统的发展 内窥光路的应用更加广泛 本文提出 法 非接触式测量方法有光学测孔方法气动量仪 测孔等方法 应用较多的光学方法有光学放大法 一种远心内窥光路与摄像技术相结合方法并 利用高精度的传动机构精密光栅检测机构图像处 小孔的夫琅和费衍射测量法 激光光点反射式测量 理系统 实现深腔盲孔位置 尺寸 形状的检测 法及像点法测孔等 如德国生产的像点比