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光波导短程透镜加工容限误差研究-物理学报
See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/256120555 Fabrication tolerances in four analytical designs of geodesic lenses Article in Acta Ph sica Sinica -Chinese Edition- · December 2012 DOI: 10.7498/aps.61.244208 CITATIONS READS 0 17 2 authors, including: Jingping Zhu Xian Jiaotong Universit 51 PUBLICATIONS 72 CITATIONS SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: polarization imaging View project All content following this page was uploaded b Jingping Zhu on 23 Februar 2016. The user has requested enhancement of the downloaded file. 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 24 (2012) 244208 光波导短程透镜加工容限误差研究* 李杰 朱京平 ( 电子物理与器件教育部重点实验室, 陕西省信息光子技术重点实验室, 电信学院, 西安交通大学, 西安 710049 ) ( 2012 年4 月8 日收到; 2012 年7 月4 日收到修改稿) 本文利用数值计算的方法, 研究比较了目前常用的四种解析解设计的短程透镜凹坑深度方向加工误差对其聚 焦效果的影响, 得到了该方向加工误差与其焦距改变量之间的定量关系. 结果表明: 这四种解析解设计的短程透镜 凹坑深度相对加工误差∆ 与焦距的相对改变量∆ 的比值为一常数. 根据这一关系给出了几种典型集成光 学器件中短程透镜的加工容限误差. 上述研究可为高分辨率光学器件的设计、制作提供理论支持和指导. 关键词: 集成光学, 短程透镜, 数值计算, 加工容限误差 PACS: 42.82.Gw, 42.82.Bq, 42.15.Fr 参数的短程透镜进行的, 因此其代表性与系统性不 强, 且早期的短程透镜存在曲率奇点损耗严重的问 1 引言 题已经很少使用了. 而对新的四种改进解析解设计 的短程透镜[8−12] 容限误差的研究国内外一直未见 短程透镜是集成光学系统中实现光路转折、 报道. 这使得在设计、制作使用短程透镜的集成光 聚焦、准直、傅里叶变换、相位调制等功能的重 学器件, 特别是高分辨率器件时, 没有具体的理论 要元件, 具有不受衬底材料限制, 聚焦效果与波长
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