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2017-10-18 发布于天津
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电子能量的基本原理及其在材料研究中的应用

电子能量的基本原理及其在材料研究中的应用杨云，宋西平　（北京科技大学新金属材料国家重点实验室，北京１０００８３）电子能量损失谱（）是一种集材料元素分析和元素成像为一体的现代分析技术，由摘要：ＥＥＬＳ　于其分析精度高、对碳、氮、氧、硼等轻元素敏感，因此被越来越多地应用于材料研究领域，并且由于ＥＥＬＳ能反映原子外层的电子状态，还可被用于原子价态变化分析。介绍了ＥＥＬＳ的基本原理、基本组成、基本功能以及在材料研究中的应用。结合与其他分析技术之间的比较，对ＥＥＬＳ技术在材料研究中的作用进行了评价。电子能量损失谱；基本原理；应用；材料元素分析；厚度测量关键词：中图分类号：＋文献标志码：文章编号：（）ＴＨ８３８．６Ａ１００１４０１２２０１４０１００１９０６　　　　　　犅犪狊犻犮犘狉犻狀犮犻犾犲犪狀犱犃犾犻犮犪狋犻狅狀狊狅犳犈犈犔犛犻狀犛狋狌犱狅犳犕犪狋犲狉犻犪犾犛犮犻犲狀犮犲狆狆狆狔，犢犃犖犌犢狌狀犛犗犖犌犡犻犻狀狆犵（，ＳｔａｔｅＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｆｏｒＡｄｖａｎｃｅｄＭｅｔａｌｓａｎｄＭａｔｅｒｉａｌｓｙｙ，，）ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏＢｅｉｉｎＢｅｉｉｎ１０００８３Ｃｈｉｎａｙｇｙｊｇｊｇ：（）犃犫狊狋狉犪犮狋ＥｌｅｃｔｒｏｎｅｎｅｒｌｏｓｅｓｅｃｔｒｏｓｃｏＥＥＬＳｉｓａｋｉｎｄｏｆｍｏｄｅｒｎａｎａｌｓｉｓｔｅｃｈｎｏｌｏｉｎｔｅｒａｔｅｄｇｙｐｐｙｙｇｙｇ，，，ｍａｔｅｒｉａｌｅｌｅｍｅｎｔｓａｎａｌｓｉｓｗｉｔｈｅｌｅｍｅｎｔａｌｉｍａｉｎ．ＤｕｅｔｏｈｉｈａｃｃｕｒａｃａｎｄｈｉｈｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｔｏＣＮＯＢａｎｄｙｇｇｇｙｇｙ，，ｏｔｈｅｒｌｉｈｔｅｌｅｍｅｎｔｓＥＥＬＳｉｓｗｉｄｅｌｕｓｅｄｉｎｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌｒｅｓｅａｒｃｈ．Ｂｅｓｉｄｅｓｄｕｅｔｏｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｂｅｉｎａｂｌｅｇｙｇ，ｔｏｒｅｆｌｅｃｔｔｈｅｏｕｔｅｒｅｌ