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ICD不良判定
ICD不良判定 WUS QA 目的 消除WUS與外包廠商之間關于ICD問題判定的爭議 進一步規范ICD問題的判定准則 實驗一 無ICD 問題﹐拋光完美的同一切片 未微蝕, 微蝕后 以及過度微蝕后 內層連接界面狀況. 結論一 拋光完美的切片, 如果無ICD 問題, 無論在微蝕前, 微蝕后, 以及過度微蝕后, 其內層連接界面都OK. 實驗二 有ICD 問題且拋光完美的切片 , 過度微蝕后的內層連接OK處界面和表面界面的圖片 結論二 拋光完美的切片, 如果有ICD 問題, 無論在微蝕前, 微蝕后, 以及過度微蝕后, 其有ICD問題處內層連接界面都NG,但如果是其他無ICD問題處內層連接界面則OK. 實驗三 有ICD 問題但拋光不足的切片, 過度微蝕后的其他內連OK處界面的圖片 結論三 對有ICD 問題但拋光不足的切片, 其有ICD問題處內層連接界面在微蝕前及微蝕后都無法有效發現ICD問題, 只有在過度微蝕后才能發現內層連接界面有ICD 問題, 而如果是其他無ICD問題處內層連接界面則OK. 總結 ICD問題判定的關鍵點在于切片研磨的品質﹐而不在于是否用微蝕液咬蝕﹒ IPC明確規定在觀察切片時要用微蝕液咬蝕,目的: a.使電鍍的分界線顯現 b.將研磨時產生的銅粉去除以便觀察 c. 彌補切片品質不佳對判定的影響 因此WUS繼續要求用微蝕液咬蝕 * * * * 有ICD 問題﹐拋光完美的同一切片 未微蝕, 微蝕后 以及過度微蝕后 內層連接界面狀況. * * * * 有ICD 問題﹐拋光不足的同一切片 未微蝕, 微蝕后 以及過度微蝕后 內層連接界面狀況.
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