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陈 建 研究员 puscj@mail.sysu.edu.cn Sun Yat-sen University TXRF （Total-reflection X-ray fluorescence spectroscopy ）全反射X荧光分析技术 • 全反射X荧光 （TXRF ）分析技术是近年来才发展起 来的多元素同时分析技术。TXRF利用全反射技术 ，使样品荧光的杂散本底比X荧光能量色散谱仪 （ EXRF ）本底降低约四个量级，从而大大提高了能 量分辨率和灵敏度，避免了XRF测量中通常遇到的 本底增强或减弱效应； • 同时TXRF 技术又继承了EXRF方法的优越性，成为 一种不可替代的全新的元素分析方法。 • 该技术被誉为在分析领域是最具有竞争力的分析 手段、在原子谱仪领域内处于领先地位。 5/4/2016 4 1．地矿：金矿、铜精料和镍精料、萤石、长石、 氧化锑； 2 ．冶金：镍电解液、铜阳极泥、高冰镍中的贵金 属、光谱纯Rh、金银首饰、铸铁、轴承； 3 ．化工：柴油中的硫含量，各种催化剂，陶瓷釉 药； 4. 环境保护：自来水、大气飘尘、污水污泥； 5 ．生物：海洋动物牙齿和体液； 6 ．医药：头发和指甲中的有益有害元素，丹参中 有害微量元素； 7 ．食品：饮料中有益和有害元素； 8 ．刑侦法医：撞车现场样品鉴定。 5/4/2016 5 TXRF元素分析仪在元素分析领域内的应 用现状和发展前景都是令人鼓舞的。它 可以广泛应用于地矿、冶金、化工、食 品、生物、医药、环保、法检、考古、 高纯材料等等各领域内的常量、微量、 痕量元素分析测定。特别在半导体工业 中的硅片表面质量控制方面，有着不可 替代的优势，目前已在国际上得到广泛 应用。 5/4/2016 6 国内多使用手动VPD进行前处理且多为6英寸或以下尺寸 的硅片，即操作人使用真空吸笔吸取硅片背面，将一滴扫 描液滴在硅片正面，通过倾斜硅片使扫描液扫过整片硅片 后用取液枪将扫描液吸入ICP-MS进行测试，这样在测试 过程中不可避免的引入杂质，影响测试效果 ①传送机械手从片盒中取硅片 （Wafer ），传送至定心台 （Aligner ）上；②定心台扫描硅片边缘，定位硅片中心 ，并使参考面朝向指定位置后传送至VPD 盒 （VPD Box ）；③VPD 盒中通入HF 气雾进行VPD 前处理，处理后 待扫描；④吸嘴 （Nozzle ）吸取扫描液 （Scan Solution ）；⑤吸嘴使扫描液部分裸露在吸嘴外；⑥吸嘴携带扫 描液按照一定速率扫描已经过VPD 前处理硅片的表面； ⑦扫描后，吸嘴将扫描液排入小瓶 （Vial ）中；⑧ICP- MS 的取液管插入小瓶中进行元素定量分析。 5/4/2016 7 5/4/2016 8 5/4/2016 9 Acknowledgements 许建斌教授（香港中文大学） • 国家自然科学基金： 陈旭东教授（