扫描电镜应用.pdf

扫描电镜应用简介 扫描电镜应用简介 魏绪明 魏绪明 2010年10月21 日 2010年10月21 日 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的工作原理  扫描电镜的工作原理  扫描电镜的工作原理 可以简单地归纳为 可以简单地归纳为 “光栅扫描，逐点成 “光栅扫描，逐点成 像” 。 像” 。  扫描电镜图像的放大  扫描电镜图像的放大 倍数定义为 倍数定义为 M=L/l M=L/l L显象管的荧光屏尺寸；l 电 L显象管的荧光屏尺寸；l 电 子束在试样上扫描距离。 子束在试样上扫描距离。 电子与块状样品的作用 入射电子 二次电子 俄歇电子 背散射电子 特征X射线 连续X射线 光子 电子束诱导电流 声子 块状样品 扫描电镜的主要性能与特点 扫描电镜的主要性能与特点 放大倍率高（M=Ac/As ） 分辨率高（d0=dmin/M总） 景深大（F≈d0/ β） 保真度好 样品制备简单 影响分辨率因素1 影响分辨率因素1  仪器  仪器  电子源类型：钨丝，LaB6 ，肖特基热场，冷场  电子源类型：钨丝，LaB6 ，肖特基热场，冷场  结构设计：外透镜，半内透镜，全内透镜  结构设计：外透镜，半内透镜，全内透镜  光阑  光阑  电子探测器：二次电子，背散射电子  电子探测器：二次电子，背散射电子 电子枪 电子枪 各种电子枪比较 钨丝 六硼化 热场发 冷场发 钨丝 六硼化 热场发 冷场发 镧 射 射 镧 射 射 100微米 5微米 小于100 小于100 近似源 100微米 5微米 小于100 小于100 近似源 尺寸 埃 埃 尺寸 埃 埃 5 6 8 8 105 106 108 108 亮度 10 10 10 10 亮度