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材料分析测试技术-第9章
《材料分析测试技术》 第二篇 电子显微分析 电子光学基础（§9） 透射电子显微镜（§10） 电子衍射（§12） 扫描电子显微镜（§14） 电子探针显微分析（§15） 1 《材料分析测试技术》 第9章 电子光学基础 ◆ 电子波与电磁透镜 ◆ 电磁透镜的像差与分辨本领 ◆ 电磁透镜的景深与焦长 2 《材料分析测试技术》 §9-1 电子波与电磁透镜 ◆ 光学显微镜的分辨率极限 ◆ 电子波 ◆ 电磁透镜 3 9.1.1 光学显微镜的分辨率极限 分辨本领是指成像物体（试样）上能分辨 出来的两个物点间的最小距离。显微镜的 分辨本领为 r 0.5 (9.1) 0 式中λ—照明光源的波长。 光学显微镜分辨本领的极限为200nm 。因 此，要提高显微镜的分辨本领，关键是要 有波长短，又能聚焦成像的照明光源。 4 5 9.1.2 电子波的波长 电子显微镜的照明光源是电子波。电子波的波 长λ取决于电子运动的速度和质量，即 h (9.2) mv 式中h—普朗克常量 m— 电子的质量 v— 电子的速度，它和加速电压U之间存在 下面的关系 1 2 2eU mv eU v (9.3) 2 m e— 电子所带电荷 h (9.4) 2emU 6 如果电子速度较低，则它的质量和静止质 量相近，即 m m0 9.11031 kg 。 如果加速电压很高，使得电子具有极高的 速度，则必须经过相对论校正，此时 m 0 m h 1 ( ) v 2 (9.4) c 2emU h
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