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ch2_矽晶圆
電子構裝技術與材料
Chapter
矽晶圓
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silicon wafer
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國立中興大學化工系
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陳 志 銘
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電子產品製造流程
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wafer production processing
矽晶圓生產
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焦碳 冶金級矽 HCl SiCl4
矽砂
(metallurgical- +
o o
SiO2 1500~2000 C grade silicon) 800 C SiHCl3
98%purity
純 蒸
化 餾
熔融 半導體級矽
單晶
(semiconductor-
矽晶棒 拉晶 grade silicon)
99.99%purity
矽晶圓生產
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“柴氏拉晶法”生產單晶矽
晶種固定器
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晶種
單晶矽晶棒
石墨坩堝
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晶種
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石墨坩堝
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