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第卷第期半导体学报年月表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响黄见秋黄庆安东南大学教育部重点实验室南京摘要建立了一个微开关接触电阻模型模型将粗糙的触头表面理想化为多微丘结构并考虑了表面粘连效应给出了接触电阻与接触力之间的变化关系结果显示在低接触力下粘连效应十分重要粘连模型与等人所建立的模型以及实验值的比较结果表明粘连效应可以用来解释弹性模型与实验之间的偏差关键词微开关接触电阻粘连效应中图分类号文献标识码文章编号分布着三个电极分别为漏极栅极引言与源极梁的固定端与源极相连梁的自由由于接触式微开关的功
第 26 卷 第 6 期 半 导 体 学 报 Vol . 26 No . 6
2005 年 6 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J une ,2005
表面粘连效应对接触式微开关接触电阻的影响
黄见秋 黄庆安
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