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年月化学工业与工程第卷第期化工计算文章编号改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进温雅胡仰栋单廷亮中国海洋大学化学化工学院山东青岛摘要对改良西门子法多晶硅生产中尾气分离工艺进行了改进应用软件利用精馏吸收和吸附等不同分离方法进行组合确定了尾气的分离序列得到了操作条件温和的个流程方案用温焓图进一步分析各流程方案发现各流程进行热匹配的意义不大但分离过程所需的冷凝温度为易于实现通过对比流程设备吸收剂加入量主要设备的操作压力需公用工程加热与冷却的负荷等参数确定了尾气分离的最佳流程该流程的操作条件温和且分离效
2008 年 3 月 化 学 工 业 与 工 程 第 25 卷 第 2 期
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