薄膜原理与检测.pdf

薄膜原理與檢測 干涉與檢測 2010.05.25 Electromagnetic waves: Phase relations Thus E and B are in phase since,         E ei k r t cB ei k r t o o requires that ei 1  0,2,... E k B 干涉與檢測 2010.05.25 Optical thin film Amplitudes of Reflected and Refracted Waved cosn cos r s cosn cos n coscos r p n coscos n 2 n n 干涉與檢測 1 2010.05.25 薄膜的干涉 1. 成因：光入射於薄膜上由薄 入射光 膜層的兩個界面上所反射的光 1 波，頻率相同且必為同調，因 2 此將可產生穩定的干涉圖形。 2. 薄膜干涉兩界面反射光波的 相位差來源： 透射光 (1)兩光波在不同界面處反射時 所伴生的相位差。由疏介質至密介質，反射光與入射光 反相；由密介質至疏介質，反射光與入射光同相。 (2)兩光波的光程差所產生的相位差：如入射光的波長 為λ，則由光程差2t所產生的相位差為 2t 