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测试原理总介

第一章. 认识半导体和测试设备 本章节包括以下内容,  自动测试设备(ATE )的总体认识  模拟、数字和存储器测试等系统的介绍 负载板(Load boards )、探测机(Probers )、机械手(Handlers )和温度控制单元(Temperature units ) 二、自动测试设备 随着集成电路复杂度的提高,其测试的复杂度也随之水涨船高,一些器件的测试成本甚至占到了芯 片成本的大部分。大规模集成电路会要求几百次的电压、电流和时序的测试,以及百万次的功能测试步骤以 保证器件的完全正确。要实现如此复杂的测试,靠手工是无法完成的,因此要用到自动测试设备(ATE , Automated Test Equipment )。 ATE 是一种由高性能计算机控制的测试仪器的集合体,是由测试仪和计算机组合而成的测试系统, 计算机通过运行测试程序的指令来控制测试硬件。测试系统最基本的要求是可以快速且可靠地重复一致的测 试结果,即速度、可靠性和稳定性。为保持正确性和一致性,测试系统需要进行定期校验,用以保证信号源 和测量单元的精度。 当一个测试系统用来验证一片晶圆上的某个独立的 Die 的正确与否,需要用Probe Card 来实现测试 系统和 Die 之间物理的和电气的连接,而 Probe Card 和测试系统内部的测试仪之间的连接则通过一种叫做 “Load board ”或“Performance board ”的接口电路板来实现。在CP 测试中,Performance board 和 Probe card 一起使用构成回路使电信号得以在测试系统和 Die 之间传输。 当Die 封装出来后,它们还要经过 FT 测试,这种封装后的测试需要手工将一个个这些独立的电路放 入负载板(Load board )上的插座(Socket )里,这叫手工测试(hand test )。一种快速进行FT 测试的方法是 使用自动化的机械手(Handler ),机械手上有一种接触装置实现封装引脚到负载板的连接,这可以在测试机 和封装内的 Die 之间提供完整的电路。机械手可以快速的抓起待测的芯片放入测试点(插座),然后拿走测 试过的芯片并根据测试 pass/fail 的结果放入事先定义好的相应的Bin 区。 三、半导体技术 有一系列的方法被用来生产和制造数字半导体电路,这些方法称为半导体技术或工艺,常用的技术 或工艺包括:TTL (Transistor-Transistor Logic a.k.a. bipolar logic), ECL (Emitter Coupled Logic), SOS (Silicon on Sapphire), and CMOS (Complimentary Metal-Oxide Semiconductor) 。不管什么技术或工艺,出来的产品都要经 过测试,这里我们关注数字 TTL 和 CMOS 电路。 四、数字和模拟电路 过去,在模拟和数字电路设计之间,有着显著的不同。数字电路控制电子信号,表现为逻辑电平“0 ” 和“1”,它们被分别定义成一种特殊的电压分量,所有有效的数字电路数据都用它们来表示,每一个“0 ” 或“1”表示数据的一个比特(bit )位,任何数值都可以由按照一定顺序排列的“0 ”“1”比特位组成的二进 制数据来表示,数值越大,需要的比特位越多。每 8 个比特一组构成一个 Byte ,数字电路中的数据经常以 Byte 为单位进行处理。 不同于数字信号的“0 ”“1”界限分明(离散),模拟电路时连续的——在任何两个信号电平之间 有着无穷的数值。模拟电路可以使用电压或电流来表示数值,我们常见的也是最常用的模拟电路实例就是运 算放大器,简称运放。 为帮助理解模拟和数字电路数值的基本差别,我们可以拿时钟来比方。“模拟”时钟上的指针连续 地移动,因此所有的任一时间值可以被观察者直接读出,但是所得数值的准确度或者说精度取决于观察着认 知的程度。 而在“数字”时钟上,只有最小增量以上的值才能被显示,而比最小增量小的值则无法显示。如果 有更高的精度需求,则需要增加数据位,每个新增的数据位表示最小的时间增量。 有的电路里既有数字部分也有模拟部分,如 AD 转换器(ADC )将模拟信号转换成数字信号,DA 转换器(DAC )则相

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