电热微执行器温度分布节点分析模型.pdfVIP

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2017-10-13 发布于天津
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第卷第期半导体学报年月电热微执行器温度分布节点分析模型黎仁刚黄庆安李伟华东南大学教育部重点实验室南京摘要针对如何使用具有集总性质的节点分析法仿真非集总的温度分布这一难点问题本文以平面内运动的热执行器作为研究对象依据不同坐标的空间温度分布之间相关性较强的特点利用傅里叶变换使连续的空间温度分布问题集总化建立了热执行器基本单元的温度分布节点分析法模型所建立的模型节点数较少结构清晰同时为使之能够与控制电路及反馈电路协同仿真本文还建立了热执行器基本单元的等效电路模型为证实模型的有效性本文使用该模型对三种常

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