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微束显微分析技术及应用 微束显微分析技术 第一章 绪论 第二章 微束显微分析技术的物理基础 第三章 电子探针结构 第四章 电子探针定性和定量分析 第五章 电子探针在地质学中的应用 第一章 绪论 一 微束分析与探针 二 电子探针发展史 三 电子探针的优势及局限 四 电子探针技术的发展趋势 第一节 微束分析与探针 一 微束分析(Microbeam Analysis)： 使用聚集的具有一定能量的微电子束 、微离子束 、微光束或其它微粒子束作为激发源来激发样品的微区(um3)而产生各种信息，并对这些信息加以探测、收集 、甄别从而得到样品微区成份、结构 、形貌等的特征仪器，即称为微束分析仪，这门技术即为微束分析技术。 微束分析中，微束激发源(即入射光束)与样品作用而产生的信息主要有：特征X射线、连续X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、 第二节 电子探针发展历史 二 X射线光谱仪的发展简史 三　电子探针仪的发展简史 第三节 电子探针的优势及局限性 第四节 电子探针技术的发展趋势 第二章 电子探针分析的物理基础 第二节 几种电子信息 第三节　几种X射线信息 第四节 阴极发光 第五节　各种信息在矿物中的空间分布特征 第三章　电子探针组成及分析原理 一　电子光学系统 二　光学观察系统　 三　样品台及样品室 四　真空系统 五 X射线波谱仪（WDS） 六　X射线能谱仪（EDS） 七 能谱仪与波谱仪对比 八　评价谱仪优劣的几个方面 九 计算机系统 第一节　电子光学系统 第一节　电子光学系统 第二节 光学观察系统－电子显微镜 第三节　样品台及样品室 第四节 真空系统 第五节　X射线波谱仪 第六节　X射线能谱仪（EDS） 第七节 能谱仪与波谱仪对比 第八节　评价谱仪优劣的几个方面 第九节 计算机与自动化分析 第四章 电子探针定性定量分析 一 用户需作的准备工作 二 定性分析 三 定量分析 四 标样应具备的条件 五 定量分析的步骤 六 如何判断报告的可靠性 第一节 用户需做的准备工作 第二节 定性分析 第三节　定量分析 第四节　标样应具备的条件 第五节　进行定量分析的步骤 第六节　判断测试结果的可靠性 第五章 电子探针的应用 第 一节 电子探针在地质学中的应用 二 电子探针在其它学科中的应用 参考教材： 电子探针显微分析技术 地质出版社 周剑雄 1995 Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis Joseph I. Goldstein, Plenum press 1992 1. 为防止分析过程中某些组分迁移或逃逸： 不稳定含水硅酸盐、含银硫化物、含碱金属硅　　 　酸盐，增大为10~50um。 2. 为消除糙面带来的误差： 　　 抛光不好的样品、粉末压制的岩石样品。用大　　 　 束斑。 　3. 为保证测量： 　　 当了解固熔体未分解时成份时，用大束斑。 　　 　D 选择分光晶体： 　 目前探针常用的分光晶体组分是：STE、TSP、PET和LiF，不同晶体所分析元素范围有重叠，这就意味着，对许多元素，对分光晶体可有多种选择：如图 　　 1.如：对Sikα：可用TAP、PET，通常用TAP。 　　　　　 Cakα :可用LIF、PET，通常用PET。 　　　固定的有较短的探测距离，X射线计数率较高。 　　 2.考虑分光晶体的分辩率：　（见下图） 通常晶体的面网间距很小，分辨率高。 如：Crα与 VKβ， 用 LiF易区别； Vkα与Tikβ，用LiF易区分，用 PET难分。 3.考虑样品中元素的含量： 如，常量Ti： 用LiF； 少量Ti： 用PET 独居石的WD光谱 LiF具较高的分辨率 PET则较低分辨率 E 选择脉冲分析器的下限和递宽： 　　在定量分析时，经常可见一次特征X射线之间的干扰和高次衍射线对一次衍射的干扰。如：　 7.16104? Cok α(4) 7.12624 ? Sik α(1) 5.37078 ? Cok α(3) 5.37309 ? Sk α(1) 6.16734 ? Cuk α(4) 6.15800 ? Pk α(1) 一次特征X射线之间的干扰 　 不排除这些干扰，会影响分析结果的准确性。正确选择脉