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201210319845-一种在平面子孔径...-申请公开.pdf
SooPAT
一种在平面子孔径拼接测量中调
整被测镜倾斜的装置和方法
申请号：201210319845.8
申请日：2012-08-31
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
发明(设计)人 徐富超 谢伟民 贾辛 邢廷文
主分类号 G01B11/24(2006.01)I
分类号 G01B11/24(2006.01)I
公开(公告)号 102788563A
公开(公告)日 2012-11-21
专利代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人 杨学明 卢纪
注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利
(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102788563A*
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 102788563 A
(43)申请公布 日 2012.11.21
(21)申请号 201210319845.8
(22)申请 日 2012.08.31
(71)申请人 中国科学院光电技术研究所
地址 610209 四川省成都市双流350 信箱
(72)发明人 徐富超 谢伟民 贾辛 邢廷文
(74)专利代理机构 北京科迪生专利代理有限责
任公司 11251
代理人 杨学明 卢纪
(51) Int.C l.
G01B 11/24 (2006.01)
权利要求书 2 页 说明书 4 页 附图 4 页
权利要求书2 页 说明书4 页 附图4 页
(54) 发明名称
一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾
斜的装置和方法
(57) 摘要
本发明公开了一种在平面子孔径拼接测量中
调整被测镜倾斜的装置和方法，该装置包括菲索
移相干涉仪，标准镜，半透半反镜，被测镜，激光自
准直仪，二维平移台，倾斜调整装置，转台，平面反
射镜，计算机，探测器和聚焦透镜，利用该装置在
第一子孔径位置处进行调平，并建立被测镜和标
准镜平行的基准点，然后再在其它子孔径位置处，
以此基准点为基准计算被测镜的倾斜量，然后再
对被测镜的位姿进行调整，从而减小子孔径面形
中的倾斜量，提高平面子孔径拼接测量的精度。
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CN 102788563 A 权 利 要 求 书 1/2 页
1. 一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置，其特征在于：包括菲索移相
干涉仪（101），标准镜（102 ），半透半反镜（103 ），被测镜（104 ），激光自准直仪（105 ），二维
平移台（106 ），倾斜调整装置（107），转台（108 ），平面反射镜（109 ），计算机（110 ），探测器
（111）和聚焦透镜（112 ），其中转台（108 ）、二维平移台（106 ）、倾斜调整装置（107）的中心有
一通光孔（113 ）；半透半反镜（103 ）与菲索移相干涉仪（101）的光轴成45 度夹角，平面反射
镜（109 ）与转台的转轴成45 度夹角；探测器（111）放在聚焦透镜（112 ）的焦点处；计算机
（110 ）分别与菲索
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