大功率^4DC半导体激光器的研制.PDFVIP

第 卷增刊 半 导 体 学 报 *’ aD2*’ % D9196C ! ! ! ! ! GG 年 月 $ *++. ’ #8Q!%!M_e]Q$?_^%!=#_QNe#[_]% M69*++. 大功率+^4DC 半导体激光器的研制 林 涛 江 李 王 俊 谭满清 刘素平 韦 欣 王国宏 马骁宇 ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! # $ % 中国科学院半导体研究所 光电子器件工程中心 北京 ,+++-0 ! ’ $ $ ’ 摘要 采用低压金属有机化学气相沉积生长了’)+61 激光器外延片 有源区采用单量子阱结构 阱区 垒区分别为 $ 和 利用该外延片制作了带无电流注入区的氧化物条形激光器 激光器腔长为 电流注入 6X5$H $DX562 2 W++ 1 区条宽为 两端的无注入区宽度均为 镀膜后器件的阈值电流为 输出波长 最大输出 ,++ 1$ *. 12 +b($$ ’)+v*61$ $ ’ $ 功率为 水平 垂直发散角分别为 表明该种结构可以提高器件的腔面光灾变功率2 ,,++1U -i(+i2 关键词 半导体激光器 金属有机化学气相沉积 腔面光灾变 ’’)+61( ( ( ) ( ( ’’% *.*+N *.0+# (0*+M 中图分类号’ 文献标识码’ 文章编号’ $ [Q*(-b( $ +*.0J(,))*++.%+J+,)’J+( ! ! ! ! ! ! 构来获得大的#_N功率2 ! 引言 ! 材料生长 ! ’ 红光半导体激光器常被用在光盘读写系统 激 光教鞭 条形码阅读器 激光打印 测量仪器和医疗 实验中采用低压 外延技术进行材料