椭偏仪SENTECH概论.pptVIP

* SENTECH Instruments 硅太阳能电池薄膜测量的 领导者 我们能够测量的材料： 薄膜厚度 折射率 吸收系数 碱法腐蚀/酸法腐蚀多晶硅和粗糙表面单晶硅太阳能电池表面AR膜 基于玻璃基底上的多层薄膜的太阳能电池 硅电池表面的SiNx膜 薄膜太阳能电池 Basics 碱法腐蚀多晶硅太阳能电池 酸法腐蚀多晶硅太阳能电池 粗糙表面单晶硅太阳能电池 我们能够测量的材料： Basics 硅太阳能电池测量的挑战 宏观粗糙表面使入射偏振光散射非常严重。 反射光强极低，接近探测器噪声的强度。 散射使入射光线部分去偏振。常规椭偏仪只能够测量完全偏振光。 Basics SENTECH 解决方案 分别针对激光和光谱椭偏仪的高灵敏度探测单元 专用聚焦光学组件 补偿器测量模式和软件能够对测量进行退偏纠正 Basics 膜厚梯度，散射光线（粗糙表面），聚焦角度，透明基底背板反射等都能够减少光的偏振程度，这就是退偏振效应。 真实偏振状态只能够通过添加补偿器才能测量。 常规椭偏仪的硬件和软件只能够分析从样品表面反射的完全偏振光。它们不能分析部分偏振。 Uwe Richter, Thin Solid Films 313-314 (1998), pp 102-107 ?Application of the degree of polarization to film thickness gradients“ 去偏振效应 Basics 范例: 退偏效应， 2°聚焦角度 测量结果，未修正: 610 nm, n633=1.447 修正后: 600 nm, n633=1.461 Basics 工业应用解决方案 光电行业: SENTECH先进激光椭偏仪SE 400adv，用于测量单晶硅和多晶硅太阳能电池表面 SiNx 薄膜 Solutions LE 激光椭偏仪 SE 400adv 退偏纠正技术 聚焦光学组件 改进的信噪比 Solutions LE 工业应用解决方案 使用聚焦光学组件 高灵敏度探测器 没有聚焦光学组件 标准探测器 Solutions LE 激光椭偏仪 SE 400adv 工业应用解决方案 Solar Probe选项，针对任何种类硅太阳能电池的样品台和聚焦光学系统。 Solutions LE 激光椭偏仪 SE 400adv 工业应用解决方案 粗糙表面单晶硅电池测量 装置 Solutions LE 激光椭偏仪 SE 400adv 工业应用解决方案 玻璃基底薄膜太阳能电池: 反射式膜厚仪FTPadv，在线监测大面积玻璃基底上的TCO薄膜厚度 Solutions FTP 工业应用解决方案 全自动光谱椭偏仪 SENDURO? 多点测量 自动样品校准 按键式操作 精度: ?t = 0.1 nm, ?n = 0.001 要求光滑表面 Solutions SE 工业应用解决方案 R D解决方案 SEsolar Solutions SE SEsolar 针对硅太阳能电池测量而设计High sensitive detection unit Xe 弧光灯光源 波长范围350 – 850 nm 高稳定性补偿器，用于偏振角度测量 软件具有退偏纠正效应 Solar Probe ，针对单晶硅和多晶硅太阳能电池 精度: ?t = 0.5 nm, ?n = 0.01, ?k = 0.01 Solutions SE R D解决方案 SEsolar 碱法腐蚀多晶硅表面的101 nm SiNx薄膜 Solutions SE R D解决方案 SEsolar Solutions SE R D解决方案 SENresearch 光谱椭偏仪系列 Solutions SE R D解决方案 材料研究: 宽波段光谱椭偏仪, 190 nm – 2500 nm 波长范围 Solutions SE R D解决方案 BK7玻璃基底上的多层AR膜 1. 不同入射角下的测量和拟合数据 BK7 50 nm Y2O3 24 nm SiO2 136 nm TiO2 105 nm SiO2 Solutions SE R D解决方案 BK7 50 nm Y2O3 24 nm SiO2 136 nm TiO2 105 nm SiO2 Solutions SE R D解决方案 BK7玻璃基底上的多层AR膜 2. 计算得到反射率曲线 *