多次压电效应对压电石英物性系数的影响.PDFVIP

第 11 卷 第 1 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 11 No. 1 20 13 年 1 月 Nanotechnology and Precision Engineering Jan. 20 13 多次压 电效应对压 电石英物性系数的影响 张 忠华 ， 王淑云 ， 程光 明， 阚君 武 ， 王鸿云 （浙 江师 范 大学精 密机 械研 究 所 ， 金华 321004 ） 摘 要 ：为 改善 石 英 器件 与产 品 的性 能 以适应 并推 动微/ 纳机 电 系统技 术 的发展 ，从 理论 和 实验 两方 面 系统地研 究 了 多次压 电效应 对压 电石 英 弹性 系数 、压 电 系数 和机 电耦 合 系数 等 物性 系数 的影 响.理论 分析 表 明 ，外应 力作 用 下 多次 压 电效应 对压 电石 英 弹性 系数及 压 电 系数 的影 响 分 别是 多次逆 和 多次正压 电效应 综合 作 用 的体 现 .采 用与压 电石 英 晶体 并联 一 个远 大 于其 等 效 电容 量 的 电容 器 的 实验 方 法 ，测试 了多次压 电效应 对石 英 物性 系数 的影 响 ，获得 了三 次 压 电效应 时石 英 的压 电 系数 为0.04 pC/N ，比未考 虑 多次压 电效应 时提 高 了1.75% ，所 对 应 的机 电耦 合 系数 亦增加 了 1.75%. 关键 词 ：压 电 ；多次压 电效应 ；石英 晶体 ；压 电系数 ；机 电耦 合 系数 中图分 类 号 ： ； 文献标 志码 ： 文章编 号 ： （ ） TB34 TP212 A 1672鄄6030 20 13 0 1鄄0045鄄06 Influence of Multiple Piezoelectric Effects on Physical Parameters of Piezoelectric Quartz Zhang Zhonghua ， Wang Shuyun ， Cheng Guangming ， Kan Junwu ， Wang Hongyun （Institute of Precision Machinery ， Zhejiang Normal University ， Jinhua 321004 ， China ） Abstract ： To improve the performance of quartz devices and products to adapt to and to promote the development of micro/nano electromechanical systems ， the influence of multiple piezoelectric effects on elastic coefficient ， piezoelectric coefficient and electromechanical coupling factor of piezoelectric quartz crystals was theoretically and experimentally studied. The theoretical analysis shows that the influence of multiple piezoelectri