QC)8有效机电耦合系数的影响因素分析-压电与声光.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 年 月 文章编号 有效机电耦合系数的影响因素分析 赵坤丽 高 杨 韩 超 西南科技大学 信息工程学院四川 绵阳 中国工程物理研究院 电子工程研究所四川 绵阳 重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆 中国科学院高能物理研究所 核探测与核电子学国家重点实验室北京 摘 要针对有效机电耦合系数 的两种影响因素 薄膜体声波谐振器 的电极压电层厚度比与压 电层薄膜的 轴取向分别建立了厚度比可变与 轴取向可变的三层复合结构的 三维仿真模型以一个谐 振频率为 的 谐振器作为分析案例通过仿真得出设计得到的膜层厚度比为 时虽然 的 略有下降但此时 电极厚为 压电层厚为 使得 电学性能较好工 艺制备复杂度及时间降低另外 轴倾斜角度为 时会使 的 下降同时 阻抗特性曲线产生较强 的寄生谐振这会引起 横向能量泄露恶化 滤波器的带内插损因此在制备 薄膜时应该严格 把握各项工艺参数此外通过适当放宽 谐振器谐振频率增量能使 具有一定冗余量来弥补工艺制备引