紫外与真空紫外激光及其应用前景.pdfVIP

螬鱼嫒魁鸢是 A垮 -商 l综合评述i 啪 。}- 帮 F 紫外和真空紫外激光及其应用前景 过去十年里，紫外和真空紫外激光在激光 体，微波放 电的稳定性及其在陶瓷管中的快速 化学、激光材料加工、激光 医学以及激光光谱学 弥散过程可使脉冲重复率高达8kⅡz，脉冲持 等领域中的应用 日益增加，但是这一波段的激 续时间长达 ims。采用小口径陶瓷管可实现连 光光源本身的研制技术和开发却进展迟缓，二 续波运行，平均功率可达瓦级。采用列阵可进 苻差距 日益扩大。本文对紫外和真空紫外激光 一 步提高平均输出功率 器的现状、发展趋势 颓型激光器所必需解决的 工业用和医用准分子激光器预期今后 5年 基础理论问题及其有前景的应用作一评述 内有很大发展，但其可菲性和耐用性尚需提高 改进的重点是提高效率、脉冲 电源的设计、防止 一 、 紫外租真空紫外激光光源 混合气体受到污染 及气体的管理，为此要求 目前已实现商品化的此类激光器有 四种， 进一步了解激活容积中的物理学和化学 阻及预 即 Ⅱe—Cd、Ar (350~360nm)、稀有气体 卤化 电离对基本机制的影n向。提高平均功率要求在 物准分子和 ，此外还有许多金属蒸汽、固体、 不牺牲其效率和可靠性的条件下提高激光器的 自由电子等激光器 以及非线性过程正在实验室 脉冲能量和重复率。 验证，即将或正在走出实验室。现分述于后； 8·金属蒸汽离子激光器 1．Ar 激光器 (850~3棚丑m) (1)／~e-Gd离子激光器 (325nm)是广泛用 虽然其多谱线输出功率 目前 只 有 5w ，如 于医学诊断和微 电子学中最重要的市售低功率 果改进其激光管的设计，可使功率提高三倍。 紫外激光器之一，其连续波输出功率达IOmW， 2．稀有气体 卤化物准分子激光器 寿命 20OO小时。要改善连续渡紫外激光器 的 (1商 品亿 KrF激光器 已达到 ～1J昀脉 性能，要求进一步开展对其光学元件和等离子 冲能量，平均功率 2O0W 。 体噪声的基础研究，需要研制耐用的介质镀膜 (2) 激光器 (158Ⅱm，是迄今市售紫外 和低损耗的基质材料。等离子体噪声一直是制 激光光源 中光谱亮度最高的一种，造用于紫外 造用于医学诊断的低光学噪声激光器的麻烦 问 光刻和光谱学。其波长和 51cln 的带 宽使 题，因为气体和金属蒸汽激光器采用电离势截 之最适用于非线性光谱学研究原子和分子。应 然不同的混合气体，使这一问题更为 重。 进一步提高其调谐能力和输出能量 。其缺点是 (2放 电激励金属离子复台激光器 (Ca或 其光学元件质量低，气体寿命短。 Sr+)是近紫外 (373n∞的多瓦级高 占空因数实 (3)K t激光器 (222nm)，输出能 量 已 用脉冲光源 。对外部加热的激光管来说，把纵 达200～3o0mJ／脉冲，低温下寿命为 N6·10 向激励简单器件的容积增大到公升级 已可产生 次。该激光器之所 受欢迎，主要是其市售光 · 本文为 同名专题会议所得 的结论 着重论违 了紫外与 学元件的质量比193mnA ’激。_光 器 的好 得 真空紫井光谱 区激光投晨所面 临 的最紧迫 的 问题 译 文 有砑!