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2017-09-05 发布于上海
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saw-sxfa气体传感器敏感膜性质的研究 study of sensitive coating character of saw-sxfa gas sensor

第29卷第3期化学传感器 V01．29．No．3 2009年9月 009 SENSORS Sept．2 CHEMICAL SAW—SXFA气体传感器敏感膜性质的研究潘勇’，黄启斌，王艳武，曹丙庆 (防化研究院，北京102205) 摘要：以SXFA聚合物为敏感膜材料制备了能够检测有机膦化合物的声表面波传感器，介绍了敏感膜材料SXFA的镀膜方法。以理论计算和原子力显微镜对敏感膜进行了证实，研究了SAW—SXFA传感器在不同膜厚度下的频率变化、不同膜厚度的传感器对检测有机膦化合物的响应结果，并对检测机理进行了初步讨论。关键词：SAW；SXFA；传感器；敏感膜；性质 of characterofSAW·--SXFAsensor sensitive Study coating gas Pan Yan—WU，Cao Qi-bin，Wang Bing-qing Yong’,Huang InstituteofChemical (Research Defence，Beijing102205，China) Abstract：Surfaceacoustic whichcouldbeusedtodetect wag wave(SAW)sensor organphosphoruscoupounds with material．ThemethodofSXFA wagin- preparing coating preparedfluoroalcoholpolysiloxane(SXFA)sensitive atomforce fre- sensitiveWag with caculationand troduced，thecoatingprovedtheory microscopetechnology．The drifsofdifferentthickness to deteceddifferent quency coatingsensor,theresponseorganophosphoruscompoundsby Wagdisscussed． thicknesssensorwere thedetectionmechanism coating studied，and words：SAW；SXFA；sensors；sensitive Key coating；character 团．线性聚硅氧烷为骨架的聚合物。HFIP中 O引言