常见PECVD镀膜色差片分析.pptxVIP

管P色差片分析; ;二、镀膜过程中硅片滑落或者碎裂 ; ; ;四、片子部分发白;规则的，位置相同的;五、彩虹片;六、部分位置发黄片; 解决办法： 1、在产线员工插片前首先清除石墨舟里的碎片，插好片时要对石墨舟轻轻拍打，看是否存在片子没有卡到的现象，如有，及时调整，插片过程中，如有碎片，要及时清理出，同时在上舟时要尽量保持舟和机械臂、浆的平稳性。 2、当出现此种色差片的时候，我们首先要做的是要统计其色差片的次数，如果超过10pcs，我们就要对此舟进行跟踪： 一、检查舟的使用次数，如果到了工艺规定的使用寿命，立即对其停用，对其清洗； 二、检验舟的插片情况，可能会存在新人作业，插片不到位导致色差，确认无误； 三、检查片子在舟里的出处，看是否为我们工艺造成的色差（这个需要重新用一个好舟来验证），如果是，及时调整； 四、也有可能为新洗舟没有洗干净导致，及时对其停用，重新清洗。;七、整体发黄;解决办法：与机器设备有关，如何解决各种报警信息（如高频异常、真空异常、压力异常）等，厂商还未给出较好的答案，工艺要做的就是在发生问题的时候找到属于工艺自己的答案，交由设备处理，同时对1、2两种情况的片子有兴趣的话可以进行重新镀膜。 重新镀膜可以尝试的方法： 用椭偏仪检测发黄片子的膜厚： 1、如果在50nm左右可以直接放置在原先的管中运行至第5步，然后跳步至14步，开始二次镀膜； 2、如果检测出来的膜厚超过50nm，譬如55nm，我们可以计算，原硅片的膜厚大概在47nm左右，一次镀膜后膜厚在50nm左右，我们以50nm为准，那么根据我们所要得到的膜厚85nm来计算，第二步镀膜我们需要的是镀上25nm，假如我们镀第二层膜厚的时间是600s，600s/25nm=24s/nm，24s/nm*（85-55）nm=480s，一般根据计算出来得到的膜厚都要稍微高一点，我们取470s开始二次镀膜，方法一样，由第5步跳到14步。 ;THANKS