氮自由基进行单晶矽与二氧化矽氮化之研究.pdfVIP

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2017-09-03 发布于天津
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成果告行政院家科委助研究期中度告名氮自由基行晶矽二氧化矽氮化之研究型整合型行期年月日至年月日主持人周生助理教授共同主持人助理教授人曾翔江翰成果告型依核定清定交精告完整告本成果告包括以下交之附件赴外出差或研心得告一份赴大地出差或研心得告一份出席心得告及表之文各一份合作研究外研究告一份理方式除合作研究提升技及人才培育研究列管及下列情形者外得立即公查涉及利或其他智慧一年二年後可公查行位守大中民年月日摘要本研究利用距氮氧化晶矽表面分探程於氮氧化厚度成分深分型改表械性的影分以光射光察不同程於距的影以二次子