npflex光学表面轮廓仪介绍.pdf

下载文档

65
0
约3.89千字
约 4页
2017-09-03 发布于天津
举报
版权申诉
保障服务

npflex光学表面轮廓仪介绍.pdf

1、本文档共4页，其中可免费阅读2页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

光学表面轮廓仪介绍是公司于年推出的一款可针对各种复杂形状样品进行表面测量的仪器下面分别介绍此仪器的工作原理仪器特点和它的主要技术指标一工作原理光学轮廓仪是一种非接触式光学轮廓仪它使用两种技术来测量表面高度一种是相位漂移干涉计模式它可以测量光滑表面另一种是垂直扫描干涉计模式它可以测量粗糙表面和台阶模式在相位漂移干涉计中一束绿光通过一个干涉计物镜到达测试表面在干涉计中分光镜把一半入射光发射到参考表面从测试表面和参考表面反射回来的光合并起来形成干涉条纹当表面被聚焦时你可以看到条纹是明暗相间的带在测量过

NPFLEX 光学表面轮廓仪介绍 NPFLEX 是 Bruker 公司于2010 年推出的一款可针对各种复杂形状样品进行表面测量的仪器。下面分别介绍此仪器的工作原理、仪器特点和它的主要技术指标：一、工作原理：光学轮廓仪是一种非接触式光学轮廓仪，它使用两种技术来测量表面高度。一种是相位漂移干涉计（PSI）模式，它可以测量光滑表面；另一种是垂直扫描干涉计（VSI ）模式，它可以测量粗糙表面和台阶。