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同时实现多角度非垂轴面均匀照明的衍射光学器件-光子学报
29 5 Vo 1. 29 No.5
2000 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2000
谭峭峰 严瑛白 金国藩 邬敏贤
( , 100084)
本文利用长焦深器件设计思路, 提出了通过设计 射光学器件相位分布使得在三 个
垂轴面上满足均匀照明要求来间接实现非垂轴面均匀照明的设计方法, 并完成了同时实现多
种角度非垂轴面均匀照明的 射光学器件设计. 基于爬山法和模拟退火法相结合的混合算
法, 设计了器件的相位分布, 在30°、45°、55°非垂轴面上光斑不均匀性分别为5. 91% 、4. 00% 、
3. 38%. 该方法可推广至二维情形, 实现任意曲面均匀照明的要求.
非垂轴面均匀照明;长焦深; 射光学器件
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G S I(x,f ) = F( exp( i(x ) ) 2 ( 3)
5 6, 7
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* 国家高技术863—416 专题项目和国家自然科学基金资助项目
收稿日期: 1999—01—25
432 29
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