碳钛颗粒膜表面电子发射特性-表面技术.PDF

任雯等 碳钛颗粒膜表面电子发射特性 暋暋暋22 暋 碳钛颗粒膜表面电子发射特性 , , 任雯 梁海锋 蔡长龙 ( , ) 西安工业大学 光电学院 西安 710032 [ ] , 摘 要 采用磁控溅射技术沉积碳钛颗粒膜 应用图形化工艺制作基于碳钛颗粒膜的表面电子发射原型 暋暋 暋 暋 。 , , , 器件 在幅值渐增的三角波电压作用下 器件在电压幅值低于17V时 伏安特性呈明显的线性特性 对应的薄膜 ; , , , 表面没有变化 进一步升高器件电压幅值 伏安特性呈明显的负阻特性 同时可以观测到表面电子发射 表面电子 , , , 。 发射最大达到 7.2 A 发射效率达到了0.0943% 薄膜表面失色 产生明显的孔洞结构 根据 F灢N理论拟合器 毺 , , 。 件电压和发射电流 所得 IV 特性曲线呈直线 表明发射电子源于场致电子发射 e f 灢 [ ] ; ; ; 关键词 碳钛颗粒膜 表面传导电子发射 伏安特性 场致发射 暋 [中图分类号] ; [文献标识码] [文章编号] ( ) TG174.444 O462.4暋暋暋 A暋暋暋 1001灢3660201203灢0022灢04 ElectronEmissionCharacteristicsofC灢TiGranularFilms , , RENWen LIANGHai灢en CAIChan灢lon f g g g ( , 暞 , 暞 , ) SchoolofPhotoelectricalXianTechnoloicalUniversit Xian710032 China g y [ ] Abstract暋 C灢Tiranularfilmsdeositedb manetronsutterin weretakenasmaterialofsurfaceconductione g p y g p g 灢 灢 ( ) lectronemitterforSEDsurfaceconductionelectronemissiondisla .Intheeffectofincreasin trianularwavevolt 灢 灢 p y