飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗-物理研究所网上.PDF

第 卷 第 期 中 国 激 光 ， ３９ ４ Ｖｏｌ．３９ Ｎｏ．４ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１２ ４ 犃狉犻犾２０１２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 狆 飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗 ， １２ １ １ １ １ １ 葛绪雷 滕 浩 郑 轶 马景龙 张 伟 毛婧一 　 　 　 　 　 　 　 　 １ １ １ ２ ２ １ 陈黎明 王兆华 李玉同 蒋 刚 贺端威 魏志义 　 　 　 　 　 　 １中国科学院物理研究所光物理重点实验室，北京 １００１９０ （２四川大学原子与分子物理研究所，四川 成都 ６１００６５ ） 摘要 在飞秒太瓦激光装置中，高效率的压缩光栅是获得高峰值功率飞秒激光输出的最重要光学元件之一。虽然 　 光栅安装在无油的真空室内，但当光栅受到强激光的辐照时，真空中残存的气态有机物会被碳化并沉积在光栅表 面，使得光栅受到“污染”，衍射效率大大降低。激光辐照累积的热量会导致光栅结构发生变化，甚至会造成光栅的 永久损伤。为此发展了用等离子体来清洗光栅表面污染层的方法，实验结果表明该方法非常有效地清洗了光栅表 面的污染，提高了衍射效率并避免了光栅的损伤。该方法简单，易于操作，可以安装在压缩光栅真空室上，在不影 响真空室里面的光学元件情况下可以实现实时清洗。 关键词 光栅；压缩光栅；衍射效率；等离子体清洗；飞秒太瓦激光 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ Ｏ５３９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犆犑犔２０１２３９．０４０２００６ 　 　　　 　 　　　 犘犾犪狊犿犪犆犾犲犪狀犻狀 狅犳犆狅犿 狉犲狊狊犲犱犌狉犪狋犻狀 犻狀犆犺犻狉犲犱犘狌犾狊犲犉犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱 犵 狆 犵 狆 犔犪狊犲狉犃犿 犾犻犳犻犲狉 狆 ， １２ １ １ １ １ １ 犌犲犡狌犾犲犻 犜犲狀 犎犪狅 犣犺犲狀 犢犻 犕犪犑犻狀犾狅狀 犣犺犪狀 犠犲犻 犕犪狅犑犻狀 犻 　 犵 　 犵 　 犵 犵　 犵 　 犵狔 １ １ １ ２ ２ １ 犆犺犲狀犔犻犿犻狀 犠犪狀 犣犺犪狅犺狌犪 犔犻犢狌狋狅狀 犑犻犪狀 犌犪狀 犎犲犇狌犪狀狑犲犻