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铝带键合小型功率器件互连新技术 aluminum ribbonnew interconnect technology for small power devices
第ll卷。第l期 电子 与 封装 总第93期
V01.11。No.I 2011年1月
ELECTRONICS&PACKAGING
f匿Ij霪)∈,咽、fr-,-7妥:(£;’葛:7童j
铝带键合:小型功率器件互连新技术木
刘培生1·2,成明建2,王金兰1,仝良玉1
(1.南通大学杏林学院,江苏省专用集成电路设计重点实验室,江苏南通226019l
2.南通富士通微电子股份有限公司,江苏南通226006)
摘 要:随着半导体封装尺寸日益变小,普遍应用于大功率器件上的粗铝线键合技术不再是可行
的选择。新近推出的铝带键合突破了封装尺寸的限制,实现了小功率器件封装中键合工艺的强度
和性能优势。铝带键合提供了一个近乎完美的技术替代,且比现有技术更具吸引力。文中介绍了
铝带键合工艺技术,着重关注其在小型分立器件中的应用。就SOL8和更小型无引脚封装的性能和
制造能力,从键合质量、工艺能力以及设计要求等方面对其展开讨论,并与现有技术进行性能和
成本的比较,可发现其技术能力和潜力。
关键词:铝带;铝带键合;小型功率器件;SOL8;PDFN
中图分类号:TN305.94 文献标识码:A
for Devices
AluminumRibbon:NewInterconnect SmallPower
Technology
L1U Jin-lanI,TONG
Pei—shengn,CHENGMing-jian2,WANGLiang—yul
226019,China;
College,NantongUniversity,JiangsuKeyLaboratoryofASCIDesign,Nantong
(1.Xinglin
Microelectronics
2.NantongFujitsu Co.,Ltd,Nantong226006,China)
the smallerand most usedinterconnect
Abstract:Assemiconductor thinner,the technique
package commonly
a intro-
in Aluminumwire so触notviablealternative.The
devices,thick recently
largerpower bonding,was
duced ribbon overcomesthe sizerestrictionsandallowsthe ofthe
Aluminum application
bonding package
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