铝带键合小型功率器件互连新技术 aluminum ribbonnew interconnect technology for small power devices.pdfVIP

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铝带键合小型功率器件互连新技术 aluminum ribbonnew interconnect technology for small power devices

第ll卷。第l期 电子 与 封装 总第93期 V01.11。No.I 2011年1月 ELECTRONICS&PACKAGING f匿Ij霪)∈,咽、fr-,-7妥:(£;’葛:7童j 铝带键合:小型功率器件互连新技术木 刘培生1·2,成明建2,王金兰1,仝良玉1 (1.南通大学杏林学院,江苏省专用集成电路设计重点实验室,江苏南通226019l 2.南通富士通微电子股份有限公司,江苏南通226006) 摘 要:随着半导体封装尺寸日益变小,普遍应用于大功率器件上的粗铝线键合技术不再是可行 的选择。新近推出的铝带键合突破了封装尺寸的限制,实现了小功率器件封装中键合工艺的强度 和性能优势。铝带键合提供了一个近乎完美的技术替代,且比现有技术更具吸引力。文中介绍了 铝带键合工艺技术,着重关注其在小型分立器件中的应用。就SOL8和更小型无引脚封装的性能和 制造能力,从键合质量、工艺能力以及设计要求等方面对其展开讨论,并与现有技术进行性能和 成本的比较,可发现其技术能力和潜力。 关键词:铝带;铝带键合;小型功率器件;SOL8;PDFN 中图分类号:TN305.94 文献标识码:A for Devices AluminumRibbon:NewInterconnect SmallPower Technology L1U Jin-lanI,TONG Pei—shengn,CHENGMing-jian2,WANGLiang—yul 226019,China; College,NantongUniversity,JiangsuKeyLaboratoryofASCIDesign,Nantong (1.Xinglin Microelectronics 2.NantongFujitsu Co.,Ltd,Nantong226006,China) the smallerand most usedinterconnect Abstract:Assemiconductor thinner,the technique package commonly a intro- in Aluminumwire so触notviablealternative.The devices,thick recently largerpower bonding,was duced ribbon overcomesthe sizerestrictionsandallowsthe ofthe Aluminum application bonding package

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