粒度对cao-b_2o_3-sio_2系ltcc材料性能的影响 effect of particle size distribution on the properties of cao-b_2o_3-sio_2 system ltcc material.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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粒度对cao-b_2o_3-sio_2系ltcc材料性能的影响 effect of particle size distribution on the properties of cao-b_2o_3-sio_2 system ltcc material.pdf

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粒度对cao-b_2o_3-sio_2系ltcc材料性能的影响 effect of particle size distribution on the properties of cao-b_2o_3-sio_2 system ltcc material

第29卷第2期电子元件与材料 V01．29No．2 MATERIALS 2010年2月 ELECTRONICC0hⅡ．(心瑾岔iTSAND Feb．2010 路标，张树人，周晓华，李波，唐斌 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) 材料；采用统一的固相烧结陶瓷工艺过程把LTCC粉体材料刺备成陶瓷；研究了粉体粒度对瓷体晶相组成．微观形貌及析晶温度等物理性能的影响．结果表明，粉体粒度减小有助于烧结，但粒度过小会使液相在烧结过程中过早出现并包裹住未及排出的气体，从而导致瓷体结构不致密．最终确定球磨时间为7h，中位径为1．29岬，比表面积为 7．344m2，g的粉体有较好的综合性能，用其制得的LTCC晶为6．053，tard为2．33．关键词：无机非金属材料；CaO．B203．Si02系；LTCC材料；粒度 1 doi：10．3969fi．issn．1001-2028．2010．02．01 中图分类号：TB34 文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2010)02—0034-03 onthe of Effectof sizedistribution particle properties material LTCC system LU Bin Biao，ZHANGShuren，ZHOUXiaohua，LIBo，TANG ofElectronicThinFilmsand ofElectronicScienceand of (State Devices，University Technology KeyLaboratory Integrated 610054，China) China，Chengdu LTCClaw withdifferent sizeswere material Abstract：CaO-B203-Si02system powders particle proparedbymilling for timeintervals worefabricatedfrom thesamclawmaterialdifferent a ballmill，andceramic usingplanetary samples solid of distributionmaterial onthe them thesame effects size ofLTCC through sinteringpIOP：cSS．The particle