连续炉的制造实例.pdfVIP

连续炉的制造实例 FredDimock著1，盛金龙泽2 (1．BTUInternational，NorthBillerica，Mass； 2．北京七星华创电子股份有限公司) 摘 要：对于大批量生产和处理一致性以及精确控制的工艺要求，连续炉是理想的。详述了一些新 式的连续炉温度和性能并介绍了一种不同元件组成的连续炉。根据炉子工艺技术，经济因素和零件 质量因素的影响决定了是采用一个连续式炉还是批装式炉。 中图分类号：TF806．9 文献标识码：A l 引言 2 加热技术 经济问题的中心是拥有成本，可以包括购买成 用于加热连续炉的方法取决于采用的温度、气 本、运营成本、维修费用、产品产能和投资回报。质量问 氛、电源以及应用程序和包括热空气对流、煤气燃烧、 题通常体现在工艺稳定性、产品质量和产品一致性等 二硅化钼加热器、碳化硅棒和难熔金属条、棒和格网。 问题上。技术问题则集中在操作简便性、工艺定义、热 热空气对流通常用于在空气和氮气环境的低 循环、温度要求、气氛条件、产品质量和希望的吞吐量 上。这些问题及其相对重要性在不同行业、不同公司、 度从800一1600℃的空气环境，而耐火金属加热器 不同人员之间有所不同，但这些问题总是存在的。 (钼和钨)则用于温度高于l500℃的惰性气体气 连续炉被分成4类：直通炉、推板炉、步进炉和活 氛。可在很高温度下操作的石墨加热器。需要在极 底炉。其主要区别是装载量、温度和气氛能力如表1所 低含氧量的大气环境下运行。 示。连续炉简单的结成由一个加热隧道和设备组成，在 一个稍加复杂的形式中，隧道具有保温和若干区域用 ， ，——、 于控制加热和冷却。该隧道可以衬砌有一个金属或陶 ／ ＼／冷却曲线 p 恒温曲线厶 弋 瓷的外壳，称为马弗罩，包含一个受控受控环境。连续 、 划 ＼，玉加叭 炉正确的应用程序和设计需要完整的详细的热剖面 赠 、 ， 曲姥 ＼小怕渑府 (图1)，产品和材料的物理性质要求能加热。 “ ＼～ ～ ， ＼初次加热曲线 表1 连续炉操作技术指标 炉子类型 最高负荷／kg·m-2 最高温度／℃ ttl 典型工艺炉内热曲线图 氧化气氛 还原气氛 温度控制的2个基本部件是一个测量装置和 一个控制器。最流行的温度测量装置是热电偶，而 其它的温度测量装置则用于比热电偶较低的范围， 包括光学高温计、电阻式温度检测器(RTDs)、热敏 电阻和集成电路传感器。 (总第165