利用微运动分析仪研究mems器件的运动特性 micro-motion analyzer used to dynamic behavior of mems devices.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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利用微运动分析仪研究mems器件的运动特性 micro-motion analyzer used to dynamic behavior of mems devices.pdf

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利用微运动分析仪研究mems器件的运动特性 micro-motion analyzer used to dynamic behavior of mems devices

光电子 ·激光第卷第期年月 - 17 4 2006 4 Vol.17 No.4 A r.2006 Journalo O toelectronics Laser P f p % 利用微运动分析仪研究MEMS器件的运动特性% % % 郭彤 !胡春光!胡晓东!栗大超!傅星!胡小唐 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室9天津 300072) 摘要C 介绍了一种计算机控制的微运动分析仪(MMA) 9用来研究微机电系统(MEMS) 中可动部件的运动特性它采用了种光学无损测量方法C 计算机微视觉方法用于面内运动测量;相移干涉方法用于离 2 面运动测量这个高度集成的系统包括了高性能成像系统.驱动电路.数据采集和分析软件 MMA 利用频闪照明方法冻结器件的快速运动9可以测量 1 ~Z 10 M~Z 频率的三维运动特性9达到了nm 级分 ~ 辨力通过研究一个微加工多晶硅微谐振器的运动特性来说明MMA 的强大功能关键词C 微机电系统(MEMS) ; 微运动分析仪(MMA) ; 相移干涉; 计算机微视觉; 频闪照明; 运动特性中图分类号! 文献标识码! 文章编号! ( ) T~113.2 A 1005-0086 2006 04-0386-06 Micro-motion Anal zer Used to D namicBehavior of MEMSDevicesy y % % 9 9 9 9 9 GUO Ton ~U Chun- uan ~U Xiao-don I Da-chao FU Xin ~U Xiao-tan g g g g g g ( 9 9